Kaʻina hana o ka uhi ʻana o ka ion cathode hakahaka

ʻO ke kaʻina hana o ka uhi ʻana o ka ion cathode hollow penei:

1, E hoʻokomo i nā ʻāpana ʻauwae i loko o ka hiolo ʻana.

2. Ke kau ʻana i ka mea hana.

3, Ma hope o ka neʻe ʻana i 5 × 10-3Pa, ua hoʻokomo ʻia ke kinoea argon i loko o ke keʻena uhi mai ka ʻōmole kālā, a ʻo ka pae vacuum ma kahi o 100Pa.

4, E hoʻā i ka mana bias.

5, Ma hope o ka hoʻohuli ʻana i ka mana arc e hoʻā i ka hoʻokuʻu cathode hakahaka. Hoʻopuka ʻia ka hoʻokuʻu ʻālohilohi i loko o ka paipu pihi, ʻO ke volta hoʻokuʻu he 800 ~ 1000V, ʻO ke au e hoʻokiʻekiʻe ana i ke arc he 30 ~ 50A. Ma muli o ka hopena cathode hakahaka o ka hoʻokuʻu ʻālohilohi, ʻO ke kiʻekiʻe o ke au hoʻokuʻu ʻālohilohi kiʻekiʻe, ʻO ke kiʻekiʻe o ka nui o nā ion ʻiole i loko o ka paipu kālā e hoʻopōʻino i ka paia o ka paipu vantage, E hoʻomehana koke i ka paia o ka paipu i ka hoʻokuʻu ʻana o ke kahe electron, ke ʻano hoʻokuʻu mai ka hoʻokuʻu ʻālohilohi e loli koke i ka hoʻokuʻu ʻālohilohi, ʻO ke voltage he 40 ~ 70V, ʻO ke au he 80 ~ 300A. Piʻi ka mahana o ka paipu kālā ma luna o 2300K, Incandescent, Hoʻopuka i kahi kahawai nui o nā electrons arc mai ka paipu, a pana ʻia i ka anode.

6, Hoʻoponopono ʻana i ka pae hakahaka. ʻO ka pae hakahaka no ka hoʻokuʻu ʻana o ka ʻālohilohi mai ka pū cathode hakahaka ma kahi o 100 Pa, A ʻo ke kekelē hakahaka o ka uhi ʻana he 8 × 10-1 ~ 2Pa. No laila, ma hope o ka hoʻā ʻana o ka hoʻokuʻu ʻana o ke arc, e hōʻemi i ke kinoea argon e komo mai ana i ka hikiwawe loa, e hoʻoponopono i ka pae hakahaka i kahi pae kūpono no ka uhi ʻana.

7, Papa kumu i uhi ʻia me ka Titanium. Kahe ʻana o ka electron ma luna o ka ingot metala Chin i hiolo ʻia anodically, Hoʻololi ʻana o ka ikehu kinetic i ka ikehu thermal, Evaporation o ka metala Chin ma ka hoʻomehana ʻana, Hiki nā ʻātoma mahu i ka workpiece e hana i kahi kiʻiʻoniʻoni titanium.

8、Deposition o TiN. Hoʻolako ʻia ke kinoea Nitrogen i ke keʻena uhi, Hoʻohuihui ʻia ke kinoea Nitrogen a me nā ʻātoma i hoʻoheheʻe ʻia i loko o nā iona nitrogen a me titanium. Ma luna o ke kapuahi hoʻoheheʻe, ʻOi aku ka kiʻekiʻe o ka hiki ke hoʻokuʻi inelastic o nā ʻātoma mahu titanium me nā kahawai paʻa o nā electrons ikehu haʻahaʻa, ʻOi aku ka nui o ka dissociation metala e like me 20% ~ 40%., ʻOi aku ka nui o ka pane ʻana o nā iona Titanium i ke kemika me ka nitrogen gas hopena, Deposition e loaʻa ai kahi papa kiʻiʻoniʻoni mantle nitride. ʻO ka pū cathode hakahaka he kumu vaporization, ʻO kekahi kumu ionization. I ka wā o ka uhi ʻana, Pono e hoʻoponopono ʻia ke au o ka coil electromagnetic a puni ke kapuahi hoʻoheheʻe, E kālele i ke kukuna electron i waenakonu o ka hiolo ʻana, No laila, ua hoʻonui ʻia ka mana o ke kahe electron.

9, E pio ka mana. Ma hope o ka hiki ʻana o ka mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni i ka mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni i hoʻoholo mua ʻia, e hoʻopau i ka lako mana arc, ka lako mana Bias a me ka lako ea.