Katod ionlarini qoplash jarayoni quyidagicha:
1, Chin quymalarini quyma joyga qo'ying.
2, Ish qismini o'rnatish.
3, 5 × 10-3Pa ga evakuatsiya qilingandan so'ng, kumush naychadan qoplama kamerasiga argon gazi kiritiladi va vakuum darajasi taxminan 100Pa ni tashkil qiladi.
4, Yorug'lik kuchini yoqing.
5, yoy quvvatini yoqgandan so'ng, ichi bo'sh katod zaryadini yoqing. Tugma naychasida porlash zaryadi hosil bo'ladi, zaryadsizlanish kuchlanishi 800 ~ 1000V, yoyni ko'taruvchi oqim 30 ~ 50A. Yorug'lik zaryadining ichi bo'sh katod effekti tufayli, yuqori porlash zaryadsizlanish oqimi zichligi, kumush naychadagi rat ionlarining yuqori zichligi kuzatuv naychasining devorini bombardimon qiladi, naycha devorini elektron oqimining chiqishiga tez qizdiradi, zaryadsizlanish rejimi to'satdan yoy zaryadsizlanishiga o'zgaradi, kuchlanish 40 ~ 70V, tok 80 ~ 300A. Kumush naycha harorati 2300K dan yuqoriga etadi, akkor, naychadan yuqori zichlikdagi yoy elektronlari oqimini chiqaradi va anodga uriladi.
6, Vakuum darajasini sozlash. Ichi bo'sh katodli quroldan chiqadigan yorug'lik chiqishi uchun vakuum darajasi taxminan 100 Pa ni tashkil qiladi va qoplamaning vakuum darajasi 8 × 10-1 ~ 2 Pa ni tashkil qiladi. Shuning uchun, yoy chiqishi yoqilgandan so'ng, kiruvchi argon gazini iloji boricha tezroq kamaytiring, vakuum darajasini qoplama uchun mos keladigan diapazonga sozlang.
7, Titan bilan qoplangan taglik qatlami. Anodik ravishda qulagan Chin metall quymasiga elektron oqimi, Kinetik energiyani issiqlik energiyasiga aylantirish, Chin metallini qizdirish orqali bug'lantirish, Bug 'atomlari ish qismiga yetib borib, titan plyonka hosil qiladi.
8, TiN cho'kishi. Azot gazi qoplama kamerasiga yetkazib beriladi, azot gazi va bug'langan atomlar azot va titan ionlariga ionlanadi. Tikel ustida, titan bug' atomlarining past energiyali elektronlarning zich oqimlari bilan noelastik to'qnashuv ehtimoli yuqori, metallning dissotsiatsiya darajasi 20% ~ 40% gacha., titan ionlari reaksiya gazi azot bilan kimyoviy reaksiyaga kirishish ehtimoli ko'proq, nitrid mantiya plyonka qatlamini olish uchun cho'kish. Bo'sh katod quroli ham bug'lanish manbai, ionlanishning yana bir manbai. Qoplama paytida, tikel atrofidagi elektromagnit bobinning oqimi ham sozlanishi kerak, elektron nurini qulash markaziga qarating, shu bilan elektron oqimining quvvat zichligi oshadi.
9, Quvvatni o'chiring. Plyonka qalinligi oldindan belgilangan plyonka qalinligiga yetgandan so'ng, yoy quvvat manbai, yonma-yon quvvat manbai va havo ta'minotini o'chiring.
Joylashtirilgan vaqt: 2023-yil 8-iyul