હોલો કેથોડ આયન કોટિંગની પ્રક્રિયા

હોલો કેથોડ આયન કોટિંગની પ્રક્રિયા નીચે મુજબ છે:

1, પતનમાં ચિન ઇન્ગોટ્સ મૂકો.

2, વર્કપીસ માઉન્ટ કરવાનું.

3、5×10-3Pa પર ખાલી કર્યા પછી, આર્ગોન ગેસ સિલ્વર ટ્યુબમાંથી કોટિંગ ચેમ્બરમાં દાખલ થાય છે, અને વેક્યૂમ સ્તર લગભગ 100Pa છે.

4, બાયસ પાવર ચાલુ કરો.

5、હોલો કેથોડ ડિસ્ચાર્જને સળગાવવા માટે આર્ક પાવર ચાલુ કર્યા પછી. બટન ટ્યુબમાં ગ્લો ડિસ્ચાર્જ જનરેટ થાય છે, ડિસ્ચાર્જ વોલ્ટેજ 800~1000V છે, આર્ક-રેઝિંગ કરંટ 30~50A છે. ગ્લોની હોલો કેથોડ અસરને કારણે ડિસ્ચાર્જ,હાઇ ગ્લો ડિસ્ચાર્જ કરંટ ડેન્સિટી,સિલ્વર ટ્યુબમાં ઉંદર આયનોની ઊંચી ઘનતા વેન્ટેજ ટ્યુબની દિવાલ પર હુમલો કરે છે, ટ્યુબની દિવાલને ઇલેક્ટ્રોન પ્રવાહના ઉત્સર્જન સુધી ઝડપથી ગરમ કરે છે, ગ્લો ડિસ્ચાર્જમાંથી ડિસ્ચાર્જ મોડ અચાનક બદલાય છે આર્ક ડિસ્ચાર્જ,વોલ્ટેજ 40~70V છે, વર્તમાન 80~300A છે. સિલ્વર ટ્યુબનું તાપમાન 2300K, અગ્નિથી ઉપર પહોંચે છે, ટ્યુબમાંથી આર્ક ઇલેક્ટ્રોનનો ઉચ્ચ ઘનતાનો પ્રવાહ બહાર કાઢે છે, અને એનોડ પર શૉટ થાય છે.

6、વેક્યૂમ લેવલનું એડજસ્ટમેન્ટ. હોલો કેથોડ ગનમાંથી ગ્લો ડિસ્ચાર્જ માટે વેક્યૂમ લેવલ લગભગ 100 Pa છે, અને કોટિંગની વેક્યુમ ડિગ્રી 8×10-1~2Pa છે. તેથી, આર્ક ડિસ્ચાર્જના ઇગ્નીશન પછી, ઇનકમિંગ આર્ગોન ઘટાડવું શક્ય તેટલી વહેલી તકે ગેસ, વેક્યુમ સ્તરને કોટિંગ માટે યોગ્ય શ્રેણીમાં સમાયોજિત કરો.

7、ટાઇટેનિયમ પ્લેટેડ બેઝ લેયર. એનોડીકલી કોલેપ્સ્ડ ચિન મેટલ ઇન્ગોટ પર ઇલેક્ટ્રોનનો પ્રવાહ, ગતિ ઊર્જાનું થર્મલ ઊર્જામાં રૂપાંતર, ગરમ કરીને ચિન મેટલનું બાષ્પીભવન, વરાળના અણુઓ ટાઇટેનિયમ ફિલ્મ બનાવવા માટે વર્કપીસ સુધી પહોંચે છે.

8、TiN.નાઇટ્રોજન ગેસનું ડિપોઝિશન કોટિંગ ચેમ્બરને પૂરું પાડવામાં આવે છે, નાઇટ્રોજન ગેસ અને બાષ્પીભવન થયેલા અણુઓને નાઇટ્રોજન અને ટાઇટેનિયમ આયનોમાં આયનીકરણ કરવામાં આવે છે. ક્રુસિબલની ઉપર, ઇલેક્ટ્રો-સ્ટ્રેન્સ સાથે ટાઇટેનિયમ વરાળના અણુઓની અસ્થિર અથડામણની ઉચ્ચ સંભાવના. ધાતુના વિયોજન દર 20%~40% જેટલો ઊંચો છે., ટાઇટેનિયમ આયનોની પ્રતિક્રિયા ગેસ નાઇટ્રોજન સાથે રાસાયણિક રીતે પ્રતિક્રિયા થવાની શક્યતા વધુ છે, નાઇટ્રાઇડ મેન્ટલ ફિલ્મ સ્તર મેળવવા માટે ડિપોઝિશન. હોલો કેથોડ બંદૂક બંને બાષ્પીભવન સ્ત્રોત છે，અન્ય સ્ત્રોત આયનીકરણ.

9、પાવર બંધ. ફિલ્મની જાડાઈ પૂર્વનિર્ધારિત ફિલ્મની જાડાઈ સુધી પહોંચ્યા પછી, આર્ક પાવર સપ્લાય બંધ કરો、બાયસ પાવર સપ્લાય અને એર સપ્લાય.