Раванди пӯшонидани ионҳои катоди холӣ

Раванди пӯшонидани ионҳои катоди холӣ чунин аст:

1, Сабзаҳои чиниро дар қубур гузоред.

2, насб кардани қисми корӣ.

3, Пас аз эвакуатсия ба 5×10-3Па, гази аргон аз найчаи нуқра ба камераи пӯшиш ворид карда мешавад ва сатҳи вакуум тақрибан 100Па аст.

4, қувваи таассубро фаъол созед.

5, Пас аз фаъол кардани қувваи камон барои афрӯхтани разряди катоди холӣ. Разряди дурахшон дар найчаи тугмаӣ ба вуҷуд меояд, шиддати разряди дурахшон 800~1000В аст, ҷараёни болоравии камон 30~50А аст. Аз сабаби таъсири катоди холӣ аз разряди дурахшон, зичии баланди ҷараёни разряди дурахшон, зичии баланди ионҳои калсий дар найчаи нуқрагин девори найчаи намоёнро бомбаборон мекунад, девори найчаро бо гармшавии зуд ба партоби ҷараёни электронҳо, ҳолати разряди дурахшон ногаҳон ба разряди камон тағйир медиҳад, шиддат 40~70В аст, ҷараён 80~300А аст. Ҳарорати найчаи нуқрагин аз 2300К болотар мерасад, лампаҳои лампадор, ҷараёни зичии баланди электронҳои камонро аз найча мебарорад ва ба анод мепартояд.

6, Танзими сатҳи вакуум. Сатҳи вакуум барои ихроҷи дурахшон аз таппончаи катоди холӣ тақрибан 100 Па аст ва дараҷаи вакуумии пӯшиш 8×10-1~2Па аст. Аз ин рӯ, пас аз афрӯхтани ихроҷи камон, гази аргони воридшавандаро ҳарчи зудтар кам кунед ва сатҳи вакуумро ба диапазони мувофиқ барои пӯшиш танзим кунед.

7, Қабати асосии бо титан пӯшонидашуда. Ҷараёни электрон ба порчаи металли Чин, ки ба таври анодикӣ фурӯ рафтааст, табдил додани энергияи кинетикӣ ба энергияи гармӣ, бухоршавии металли Чин тавассути гармкунӣ, атомҳои буғ ба қисмати корӣ расида, плёнкаи титанро ташкил медиҳанд.

8, ҷойгиршавии TiN. Гази нитроген ба камераи рӯйпӯшкунӣ дода мешавад, гази нитроген ва атомҳои бухоршуда ба ионҳои нитроген ва титан ион карда мешаванд. Дар болои тигель, эҳтимолияти бархӯрди ғайричандирии атомҳои буғи титан бо ҷараёнҳои зичи электронҳои камэнергетикӣ баландтар аст, суръати диссотсиатсияи металл то 20% ~ 40% баланд аст., эҳтимолияти реаксияи кимиёвии ионҳои титан бо гази нитрогени реаксия бештар аст, ҷойгиркунӣ барои ба даст овардани қабати плёнкаи мантияи нитридӣ. Туфангчаи катоди холӣ ҳам манбаи бухоршавӣ аст, манбаи дигари ионизатсия. Ҳангоми рӯйпӯшкунӣ, ҷараёни печи электромагнитӣ дар атрофи тигель низ бояд танзим карда шавад, шуои электронро ба маркази фурӯпошӣ равона кунед, бо ин васила зичии қувваи ҷараёни электрон зиёд мешавад.

9, хомӯш кунед. Пас аз он ки ғафсии филм ба ғафсии муайяншудаи филм мерасад, манбаи қувваи камон, манбаи қувваи барқ ​​ва таъминоти ҳаворо хомӯш кунед.