Proseso ng hollow cathode ion coating

Ang proseso ng hollow cathode ion coating ay ang mga sumusunod:

1, Ilagay ang Chin ingots sa pagbagsak.

2, Pag-mount ng workpiece.

3、Pagkatapos lumikas sa 5×10-3Pa, ang argon gas ay ipinapasok sa coating chamber mula sa silver tube, at ang antas ng vacuum ay nasa 100Pa.

4, I-on ang bias power.

5、Pagkatapos i-on ang arc power para pag-apoy ang hollow cathode discharge. Ang glow discharge ay nabuo sa button tube, Discharge voltage ay 800~1000V, Ang arc-raising current ay 30~50A. Dahil sa hollow cathode effect ng glow discharge, Mataas na glow discharge current density, Ang mataas na density ng mga rat ions sa silver tube ay nagbobomba sa dingding ng vantage tube, Gawing mabilis na magpainit ang tube wall sa paglabas ng daloy ng electron, ang discharge mode mula sa glow discharge biglaang pagbabago sa arc discharge, Boltahe ay 40~70V, Kasalukuyan ay 80~300A. Silver tube temperatura umabot sa itaas 2300K, Incandescent, Emits isang mataas na density stream ng arc electron mula sa tube, at kinunan sa anode.

6、Pagsasaayos ng antas ng vacuum. Ang antas ng vacuum para sa paglabas ng glow mula sa hollow cathode gun ay humigit-kumulang 100 Pa, At ang antas ng vacuum ng coating ay 8 × 10-1~2Pa. Samakatuwid, Pagkatapos ng pag-aapoy ng arc discharge, Bawasan ang papasok na argon gas sa lalong madaling panahon, Ayusin ang antas ng vacuum sa isang hanay na angkop para sa patong.

7、Titanium plated base layer. Ang electron flow papunta sa anodically collapsed Chin metal ingot, Conversion ng kinetic energy sa thermal energy, Evaporation ng Chin metal sa pamamagitan ng pag-init, Ang mga atomo ng singaw ay umaabot sa workpiece upang bumuo ng titanium film.

8、Deposition ng TiN.Nitrogen gas ay ibinibigay sa coating chamber,Nitrogen gas at evaporated atoms ay ionized sa nitrogen at titanium ions.Above the crucible,Mas mataas na posibilidad ng inelastic collisions ng titanium vapor atoms na may siksik na stream ng low-energy electron, Ang rate ng dissociation ng metal ay kasing taas ng 20%~40%., Ang mga Titanium ions ay mas malamang na mag-react ng kemikal sa reaction gas nitrogen, Deposition upang makakuha ng nitride mantle film layer. Ang hollow cathode gun ay parehong pinagmumulan ng vaporization，Isa pang pinagmulan ng ionization.Sa panahon ng patong,Ang kasalukuyang ng electromagnetic coil sa paligid ng crucible ay dapat ding iakma,Ituon ang electron beam sa gitna ng pagbagsak,Kaya, ang power density ng electron flow ay tumataas.

9、I-off ang Power.Pagkatapos maabot ng kapal ng pelikula ang paunang natukoy na kapal ng pelikula,I-off ang arc power supply、Bias power supply at air supply.