كاتود ئىئون قاپلاش جەريانى

كاتود ئىئون قاپلاش جەريانى تۆۋەندىكىدەك:

1، چىن قۇيمىلىرىنى چۆكمە ئورۇنغا سېلىڭ.

2، ئىشلەنگەن بۇيۇمنى ئورنىتىش.

3، 5×10-3Pa غا چىقىرىۋېتىلگەندىن كېيىن، ئارگون گازى كۈمۈش تۇرۇبىدىن قاپلاش كامېراسىغا كىرگۈزۈلىدۇ، ۋاكۇئۇم سەۋىيەسى تەخمىنەن 100Pa بولىدۇ.

4، يان تەرەپ كۈچىنى قوزغىتىڭ.

5، ياي قۇۋۋىتىنى قوزغىتىپ، بوشلۇق كاتود قويۇپ بېرىشنى ئوت ئالدۇرۇڭ. كۇنۇپكا تۇرۇبىسىدا پارقىراق قويۇپ بېرىش ھاسىل بولىدۇ، قويۇپ بېرىش توك بېسىمى 800 ~ 1000V، ياي كۆتۈرۈش توكى 30 ~ 50A. پارقىراق قويۇپ بېرىشنىڭ بوشلۇق كاتود تەسىرى سەۋەبىدىن، پارقىراق قويۇپ بېرىش توك زىچلىقى يۇقىرى، كۈمۈش تۇرۇبىدىكى يۇقىرى زىچلىقتىكى رادىئاتسىيە ئىئونلىرى كۆزىتىش تۇرۇبىسىنىڭ تېمىنى بومباردىمان قىلىدۇ، تۇرۇبا تېمى ئېلېكترون ئېقىمىنىڭ قويۇپ بېرىلىشىگە تېز قىزىيدۇ، پارقىراق قويۇپ بېرىش ھالىتى تۇيۇقسىز ياي قويۇپ بېرىشكە ئۆزگىرىدۇ، توك بېسىمى 40 ~ 70V، توك 80 ~ 300A. كۈمۈش تۇرۇبىنىڭ تېمپېراتۇرىسى 2300K دىن ئاشىدۇ، چاقناپ تۇرىدۇ، تۇرۇبىدىن يۇقىرى زىچلىقتىكى ياي ئېلېكترون ئېقىمىنى تارقىتىدۇ ۋە ئانودقا ئېتىلىدۇ.

6، ۋاكۇئۇم سەۋىيەسىنى تەڭشەش. كاتود تاپانچىسىدىن چىققان پارقىراقلىق چىقىرىشنىڭ ۋاكۇئۇم سەۋىيەسى تەخمىنەن 100 پا، قاپلاشنىڭ ۋاكۇئۇم دەرىجىسى 8×10-1~2 پا. شۇڭا، ياي چىقىرىش ئوتىنى ئىشلەتكەندىن كېيىن، كىرىدىغان ئارگون گازىنى ئىمكانقەدەر تېز ئازايتىڭ، ۋاكۇئۇم سەۋىيەسىنى قاپلاشقا ماس كېلىدىغان دائىرىگە تەڭشەڭ.

7، تىتان قاپلانغان ئاساسىي قەۋەت. ئېلېكترون ئېقىمى ئانودلۇق ھالدا چۆكۈپ كەتكەن چىن مېتال قۇيمىسىغا، كىنېتىك ئېنېرگىيەنى ئىسسىقلىق ئېنېرگىيەسىگە ئايلاندۇرۇش، چىن مېتالنى قىزىتىش ئارقىلىق پارغا ئايلاندۇرۇش، پار ئاتوملىرى ئىشلەنگەن بۇيۇمغا يېتىپ بېرىپ تىتان پەردىسىنى ھاسىل قىلىدۇ.

8، TiN نىڭ چۆكمىسى. ئازوت گازى قاپلاش كامېراسىغا يەتكۈزۈلىدۇ، ئازوت گازى ۋە پارغا ئايلانغان ئاتوملار ئازوت ۋە تىتان ئىئونلىرىغا ئىئونلىنىدۇ. تىراننىڭ ئۈستىدە، تىتان پار ئاتوملىرىنىڭ تۆۋەن ئېنېرگىيەلىك ئېلېكترونلارنىڭ زىچ ئېقىمى بىلەن ئېلاستىكسىز سوقۇلۇش ئېھتىماللىقى يۇقىرى، مېتالنىڭ ئايرىلىش نىسبىتى %20 ~ %40 كە يېتىدۇ. تىتان ئىئونلىرىنىڭ رېئاكسىيە گازى ئازوت بىلەن خىمىيىلىك رېئاكسىيە قىلىش ئېھتىماللىقى يۇقىرى، نىترىد مانتىيە پەردە قەۋىتى ھاسىل قىلىش ئۈچۈن چۆكمە قىلىنىدۇ. بوش كاتود تاپانچىسى ھەم پارغا ئايلىنىش مەنبەسى، يەنە بىر ئىئونلىنىش مەنبەسى. قاپلاش جەريانىدا، تىراننىڭ ئەتراپىدىكى ئېلېكترو ماگنىتلىق چەمبىرىكىنىڭ ئېقىمىمۇ تەڭشىلىنىشى كېرەك، ئېلېكترون نۇرىنى چۆكۈش مەركىزىگە مەركەزلەشتۈرۈش كېرەك، شۇڭا ئېلېكترون ئېقىمىنىڭ قۇۋۋەت زىچلىقى ئاشىدۇ.

9، توكنى ئۈزۈڭ. پىلاستىنكا قېلىنلىقى بەلگىلەنگەن پىلاستىنكا قېلىنلىقىغا يەتكەندىن كېيىن، ياي توك مەنبەسىنى، يان تەرەپ توك مەنبەسىنى ۋە ھاۋا تەمىناتىنى ئۈزۈڭ.