Geedi socodka dahaarka ion-ka cathode-ka godan

Habka dahaarka ion-ka cathode-ka godka ah waa sida soo socota:

1. Ku rid burooyinka Chin-ka burburka.

2, Ku rakibidda shaqada.

3, Ka dib marka laga saaro 5 × 10-3Pa, gaaska argon ayaa lagu soo darayaa qolka dahaarka laga bilaabo tuubada lacagta ah, heerka faakuumkana waa qiyaastii 100Pa.

4. Daar awoodda eexda.

5, Ka dib marka la shido awoodda qaansada si loo shido dheecaanka cathode-ka godan. Daadinta dhalaalka waxaa laga sameeyaa tuubada badhanka, Danabka daadinta waa 800 ~ 1000V, Hadda kor u qaadaya qaansada waa 30 ~ 50A. Sababtoo ah saameynta cathode-ka godan ee daadinta dhalaalka, Cufnaanta hadda daadinta dhalaalka sare, Cufnaanta sare ee ion-yada jiirka ee tuubada lacagta ayaa duqeeya derbiga tuubada faanaysa, Ka dhig derbiga tuubada si dhakhso ah u kululee ilaa daadinta socodka elektarooniga, qaabka daadinta iftiinka ee ka imanaya daadinta dhalaalka ayaa si lama filaan ah isu beddelaya daadinta qaansada, Danabku waa 40 ~ 70V, Hadda waa 80 ~ 300A. Heerkulka tuubada lacagta ah wuxuu gaaraa wax ka badan 2300K, Daadinta, Waxay ka soo saartaa qulqul cufnaan sare oo elektaroono qaansada ah tuubada, waxayna ku toogtaa anode-ka.

6, Hagaajinta heerka faakuumka. Heerka faakuumka ee loogu talagalay dheecaanka dhalaalaya ee ka imanaya qoriga cathode-ka godan waa qiyaastii 100 Pa, Heerka faakuumka ee dahaarkana waa 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Sidaa darteed, Ka dib marka la shido dheecaanka qaansada, Yaree gaaska argon ee soo galaya sida ugu dhakhsaha badan, U hagaaji heerka faakuumka meel ku habboon dahaarka.

7, Lakabka salka ee Titanium-ka lagu dahaadhay. Socodka elektarooniga ah ee ku dul socda birta Chin ee burburtay ee anodigga ah, Beddelka tamarta dhaqdhaqaaqa ilaa tamarta kulaylka, Uumiga birta Chin iyadoo la kululaynayo, Atamka uumiga ayaa gaara shaqada si ay u sameeyaan filim titanium ah.

8, Kala-goynta TiN. Gaaska Nitrogen-ka waxaa la siiyaa qolka dahaarka, gaaska Nitrogen-ka iyo atamka uumi-baxa ayaa loo beddelaa aayoon nitrogen iyo titanium. Ka sarreeya isku-darka, Suurtagalnimada sare ee isku-dhacyada aan la qabsan karin ee atamka uumi-baxa titanium-ka oo leh durdurro cufan oo elektaroono tamar yar leh, Heerka kala-goynta birta waa mid aad u sarreeya ilaa 20% ~ 40%., Aayoonka Titanium-ka waxay u badan tahay inay si kiimiko ah ula falgalaan nitrogen-ka gaaska falgalka, Kala-goynta si loo helo lakab filim nitride ah. Qoriga cathode-ka ee godan waa labadaba isha uumi-baxa, Ilo kale oo ionization ah. Inta lagu jiro dahaarka, Hadday tahay in la hagaajiyo qulqulka korantada ee ku wareegsan isku-xidhka, waa in sidoo kale la hagaajiyaa. Xoogga saar falgalka elektaroonigga bartamaha burburka, Sidaas darteed, cufnaanta awoodda socodka elektaroonigga ayaa kordhay.

9, Dami Korontada. Ka dib marka dhumucda filimku gaarto dhumucda filimka la go'aamiyay, dami korontada qaansada, korontada iyo hawada eexda.