Onttokatodi-ionipinnoitusprosessi on seuraava:
1. Laita leukaharkot luhistumaan.
2. Työkappaleen asennus.
3、Kun on tyhjennetty 5 × 10-3 Pa:iin, argonkaasua johdetaan pinnoitekammioon hopeaputkesta, ja alipainetaso on noin 100 Pa.
4、Kytke bias-virta päälle.
5、Kun kaarivirta on kytketty päälle onton katodin purkauksen sytyttämiseksi. Hehkupurkaus syntyy painikeputkessa, Purkausjännite on 800–1000 V, Valokaaria nostava virta on 30–50 A. Hehkun onton katodivaikutuksen vuoksi Purkaus,Suuri hehkupurkauksen virrantiheys,Hopeaputken rotan ionien suuri tiheys pommittaa näköputken seinää kaaripurkaus, Jännite on 40 ~ 70 V, Virta on 80 ~ 300 A. Hopeaputken lämpötila saavuttaa yli 2 300 K, Hehkulamppu, Säteyttää suuren tiheyden kaarielektronivirran putkesta ja laukaisee anodille.
6、Tyhjiön tason säätö. Onton katodipistoolin hehkupurkauksen alipainetaso on noin 100 Pa, ja pinnoitteen tyhjiöaste on 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Siksi kaaripurkauksen syttymisen jälkeen vähennä tulevaa argonia kaasu mahdollisimman pian,säädä alipainetaso pinnoitukseen sopivalle alueelle.
7、Titaanilla päällystetty pohjakerros.Elektronivirtaus anodisesti romahtaneeseen Chin-metalliharkkoon,Kineettisen energian muuntaminen lämpöenergiaksi,Chin-metallin haihtuminen kuumentamalla,Höyryatomit saavuttavat työkappaleen muodostaen titaanikalvon.
8、TiN:n kerrostaminen.Typpikaasua syötetään päällystyskammioon,Typpikaasu ja haihtuneet atomit ionisoidaan typpi- ja titaani-ioneiksi. Upokkaan yläpuolella on suurempi todennäköisyys joustamattomille titaanihöyryatomien törmäyksille tiheiden matalaenergiaisten elektronien virtojen kanssa. Metallin dissosiaationopeus on jopa 20 % ~ 40 %., Titaani-ionit reagoivat todennäköisemmin kemiallisesti reaktiokaasun typen kanssa, Laskeutuminen nitridivaippakalvokerroksen saamiseksi. Ontto katodipistooli on sekä höyrystymislähde, toinen lähde ionisaatiosta. Päällystyksen aikana tulee myös säätää upokkaan ympärillä olevan sähkömagneettisen käämin virtaa,Kohdista elektronisäde romahduksen keskelle,täten elektronivirran tehotiheys kasvaa.
9、Virta pois päältä. Kun kalvon paksuus saavuttaa ennalta määritetyn kalvon paksuuden, katkaise kaarivirtalähde、Bias-virtalähde ja ilmansyöttö.
Postitusaika: 08.07.2023