Prosessen med hul katode-ionbelegg er som følger:
1、Sett Chin ingots i kollapsen.
2、Montering av arbeidsstykket.
3、Etter evakuering til 5×10-3Pa, introduseres argongass i beleggkammeret fra sølvrøret, og vakuumnivået er rundt 100Pa.
4、Slå på forspenningskraften.
5、 Etter å ha slått på lysbuestrømmen for å tenne den hule katodeutladningen. Glødeutladningen genereres i knapprøret, Utladningsspenningen er 800 ~ 1000V, den lysbueøkende strømmen er 30 ~ 50A. På grunn av den hule katodeeffekten av glød utladning, Høy glødutladningsstrømtetthet, Den høye tettheten av ioner i sølvrøret bombarderer veggen til utsiktsrøret, Få rørveggen til å varmes opp raskt til utslipp av elektronstrøm, utladningsmodusen fra glødeutladningen plutselig endres til bueutladning, Spenningen er 40~70V, Strømmen er 80~300A. Sølvrørstemperaturen når over 2300K, Glødelampe, Avgir en strøm av lysbueelektroner med høy tetthet fra røret, og skytes til anoden.
6、Justering av vakuumnivå. Vakuumnivået for glødeutladning fra hul katodepistol er omtrent 100 Pa, og vakuumgraden av belegget er 8×10-1~2Pa. Derfor, Etter tenning av lysbueutladningen, Reduser innkommende argon gass så snart som mulig, Juster vakuumnivået til et område som er egnet for belegg.
7、Titanbelagt basislag. Elektronstrøm på den anodisk kollapsede Chin-metallblokken, Konvertering av kinetisk energi til termisk energi, Fordampning av Chin-metall ved oppvarming, Dampatomer når arbeidsstykket for å danne en titanfilm.
8、Deponering av TiN. Nitrogengass tilføres belegningskammeret, Nitrogengass og fordampede atomer ioniseres til nitrogen- og titanioner. Over digelen, Høyere sannsynlighet for uelastiske kollisjoner av titandampatomer med tette strømmer av lavenergielektroner, Metalldissosiasjonshastigheten er så høy som 20%~40%.,Titanioner er mer sannsynlig å reagere kjemisk med reaksjonsgassen nitrogen,avsetning for å oppnå et nitridmantelfilmlag. Den hule katodepistolen er både en fordampningskilde,En annen kilde av ionisering.Under belegning,Strømmen til den elektromagnetiske spolen rundt digelen bør også justeres,Fokuser elektronstrålen til midten av kollapsen,Dermed økes effekttettheten til elektronstrømmen.
9、Slå av. Etter at filmtykkelsen når den forhåndsbestemte filmtykkelsen, slå av lysbuestrømforsyningen、Basstrømforsyning og lufttilførsel.
Innleggstid: Jul-08-2023