Proses salutan ion katod berongga adalah seperti berikut:
1, Masukkan jongkong dagu ke dalam runtuhan.
2. Memasang benda kerja.
3, Selepas pemindahan kepada 5 × 10-3Pa, gas argon dimasukkan ke dalam ruang salutan dari tiub perak, dan paras vakum adalah sekitar 100Pa.
4. Hidupkan kuasa bias.
5. Selepas menghidupkan kuasa arka, nyalaan katod berongga akan dinyalakan. Nyalaan cahaya dijana dalam tiub butang. Voltan nyahcas ialah 800~1000V. Arus penaik arka ialah 30~50A. Disebabkan oleh kesan katod berongga daripada nyahcas cahaya. Ketumpatan arus nyahcas cahaya yang tinggi. Ketumpatan ion tikus yang tinggi dalam tiub perak akan membedil dinding tiub vantage. Dinding tiub akan cepat panas apabila terdedah kepada pancaran aliran elektron. Mod nyahcas daripada nyahcas cahaya bertukar secara tiba-tiba kepada nyahcas arka. Voltan ialah 40~70V. Arus ialah 80~300A. Suhu tiub perak mencapai melebihi 2300K. Pijar. Mengeluarkan aliran elektron arka berketumpatan tinggi dari tiub dan dipancarkan ke anod.
6. Pelarasan aras vakum. Aras vakum untuk nyahcas cahaya daripada pistol katod berongga adalah kira-kira 100 Pa, dan darjah salutan vakum ialah 8×10-1~2Pa. Oleh itu, selepas nyahcas arka dicucuh, kurangkan gas argon yang masuk secepat mungkin, laraskan aras vakum ke julat yang sesuai untuk salutan.
7. Lapisan asas bersalut titanium. Aliran elektron ke atas jongkong logam Chin yang runtuh secara anodik, Penukaran tenaga kinetik kepada tenaga haba, Penyejatan logam Chin melalui pemanasan, Atom wap sampai ke bahan kerja untuk membentuk filem titanium.
8. Pemendapan TiN. Gas nitrogen dibekalkan ke ruang salutan. Gas nitrogen dan atom yang tersejat diionkan menjadi ion nitrogen dan titanium. Di atas mangkuk pijar, kebarangkalian perlanggaran tak elastik atom wap titanium dengan aliran elektron bertenaga rendah yang padat lebih tinggi. Kadar penceraian logam adalah setinggi 20% ~ 40%. Ion titanium lebih cenderung bertindak balas secara kimia dengan gas nitrogen tindak balas. Pemendapan untuk mendapatkan lapisan filem mantel nitrida. Pistol katod berongga merupakan sumber pengewapan, satu lagi sumber pengionan. Semasa salutan, arus gegelung elektromagnet di sekitar mangkuk pijar juga harus diselaraskan. Fokuskan pancaran elektron ke pusat keruntuhan. Oleh itu, ketumpatan kuasa aliran elektron meningkat.
9. Matikan. Selepas ketebalan filem mencapai ketebalan filem yang telah ditetapkan, matikan bekalan kuasa arka, bekalan kuasa bias dan bekalan udara.
Masa siaran: 8 Julai 2023