உள்ளீடற்ற எதிர்மின்வாய் அயனி பூச்சு செயல்முறை

உள்ளீடற்ற எதிர்மின்வாய் அயனிப் பூச்சு செயல்முறை பின்வருமாறு:

1. சரிவில் சின் கட்டிகளை வைக்கவும்.

2. வேலைப் பொருளைப் பொருத்துதல்.

3. 5×10⁻³ Pa அளவிற்கு வெற்றிடமாக்கிய பிறகு, வெள்ளிக் குழாய் வழியாக பூச்சு அறைக்குள் ஆர்கான் வாயு செலுத்தப்படுகிறது, மேலும் வெற்றிட நிலை சுமார் 100 Pa ஆக உள்ளது.

4. பயாஸ் பவரை ஆன் செய்யவும்.

5. உள்ளீடற்ற எதிர்மின்வாய் வெளியேற்றத்தைத் தூண்டுவதற்காக வில் சக்தியை இயக்கிய பிறகு, பொத்தான் குழாயில் ஒளிர்வு வெளியேற்றம் உருவாகிறது. வெளியேற்ற மின்னழுத்தம் 800~1000V ஆகவும், வில்-உயர்த்தும் மின்னோட்டம் 30~50A ஆகவும் உள்ளது. ஒளிர்வு வெளியேற்றத்தின் உள்ளீடற்ற எதிர்மின்வாய் விளைவின் காரணமாக, அதிக ஒளிர்வு வெளியேற்ற மின்னோட்ட அடர்த்தி ஏற்படுகிறது. வெள்ளிக் குழாயில் உள்ள அதிக அடர்த்தி கொண்ட எதிர்மின்வாய் அயனிகள், எதிர்மின்வாய் குழாயின் சுவரில் மோதுவதால், குழாய் சுவர் வேகமாக வெப்பமடைந்து எலக்ட்ரான் ஓட்டத்தை வெளியிடுகிறது. வெளியேற்ற முறையானது ஒளிர்வு வெளியேற்றத்திலிருந்து திடீரென வில் வெளியேற்றமாக மாறுகிறது. மின்னழுத்தம் 40~70V ஆகவும், மின்னோட்டம் 80~300A ஆகவும் உள்ளது. வெள்ளிக் குழாயின் வெப்பநிலை 2300K-க்கு மேல் அடையும்போது, ​​அது ஒளிர்ந்து, குழாயிலிருந்து அதிக அடர்த்தி கொண்ட வில் எலக்ட்ரான்களின் ஓட்டத்தை வெளியிட்டு, நேர்மின்வாயை நோக்கிச் செல்கிறது.

6. வெற்றிட அளவைச் சரிசெய்தல். உள்ளீடற்ற எதிர்மின்முனைத் துப்பாக்கியிலிருந்து வரும் ஒளிர்வு வெளியேற்றத்திற்கான வெற்றிட அளவு சுமார் 100 Pa ஆகும், மேலும் பூச்சுக்கான வெற்றிட அளவு 8×10⁻¹ முதல் 2Pa வரை ஆகும். எனவே, வில் வெளியேற்றம் பற்றிக்கொண்ட பிறகு, உள்வரும் ஆர்கான் வாயுவை முடிந்தவரை விரைவில் குறைத்து, பூச்சுக்கு ஏற்ற வரம்பிற்கு வெற்றிட அளவைச் சரிசெய்யவும்.

7. டைட்டானியம் பூசப்பட்ட அடித்தள அடுக்கு. ஆனோடிக் முறையில் சிதைக்கப்பட்ட டைட்டானியம் உலோகக் கட்டியின் மீது எலக்ட்ரான்கள் பாய்கின்றன. இயக்க ஆற்றல் வெப்ப ஆற்றலாக மாற்றப்படுகிறது. வெப்பப்படுத்துவதன் மூலம் டைட்டானியம் ஆவியாகிறது. ஆவி அணுக்கள் வேலைப் பொருளை அடைந்து ஒரு டைட்டானியம் படலத்தை உருவாக்குகின்றன.

8. TiN-ஐப் படியவைத்தல். பூச்சு அறைக்கு நைட்ரஜன் வாயு செலுத்தப்படுகிறது. நைட்ரஜன் வாயு மற்றும் ஆவியான அணுக்கள், நைட்ரஜன் மற்றும் டைட்டேனியம் அயனிகளாக அயனியாக்கம் செய்யப்படுகின்றன. மூசைக்கு மேலே, டைட்டேனியம் ஆவி அணுக்கள் குறைந்த ஆற்றல் கொண்ட எலக்ட்ரான்களின் அடர்த்தியான ஓட்டங்களுடன் மீளா மோதல்களில் ஈடுபடுவதற்கான அதிக நிகழ்தகவு உள்ளது. உலோகப் பிரிகை விகிதம் 20% முதல் 40% வரை அதிகமாக உள்ளது. டைட்டேனியம் அயனிகள், வினை வாயுவான நைட்ரஜனுடன் வேதியியல் ரீதியாக வினைபுரிந்து, ஒரு நைட்ரைடு மேலுறைப் படல அடுக்கைப் படியவைக்க அதிக வாய்ப்புள்ளது. உள்ளீடற்ற எதிர்மின்வாய்த் துப்பாக்கி, ஆவியாக்க மூலமாகவும், அயனியாக்கத்தின் மற்றொரு மூலமாகவும் செயல்படுகிறது. பூச்சுப் பணியின் போது, ​​மூசையைச் சுற்றியுள்ள மின்காந்தச் சுருளின் மின்னோட்டத்தையும் சரிசெய்ய வேண்டும். எலக்ட்ரான் கற்றையை சரிவின் மையத்தில் குவித்து, அதன் மூலம் எலக்ட்ரான் ஓட்டத்தின் ஆற்றல் அடர்த்தியை அதிகரிக்க வேண்டும்.

9. மின்சாரத்தை அணைக்கவும். படலத்தின் தடிமன் முன்னரே தீர்மானிக்கப்பட்ட தடிமனை அடைந்த பிறகு, வில் மின்சாரம், சார்பு மின்சாரம் மற்றும் காற்று விநியோகம் ஆகியவற்றை அணைக்கவும்.