హాలో కాథోడ్ అయాన్ కోటింగ్ ప్రక్రియ

హాలో కాథోడ్ అయాన్ కోటింగ్ ప్రక్రియ ఈ క్రింది విధంగా ఉంటుంది:

1. కూలిపోయే చోట చిన్ ఇంగోట్‌లను ఉంచండి.

2. వర్క్‌పీస్‌ను అమర్చడం.

3. 5×10⁻³ Pa వరకు వాక్యూమ్ చేసిన తర్వాత, సిల్వర్ ట్యూబ్ నుండి కోటింగ్ ఛాంబర్‌లోకి ఆర్గాన్ వాయువును ప్రవేశపెడతారు, మరియు వాక్యూమ్ స్థాయి సుమారు 100 Pa ఉంటుంది.

4. బయాస్ పవర్‌ను ఆన్ చేయండి.

5. హాలో కాథోడ్ డిశ్చార్జ్‌ను మండించడానికి ఆర్క్ పవర్‌ను ఆన్ చేసిన తర్వాత, బటన్ ట్యూబ్‌లో గ్లో డిశ్చార్జ్ ఉత్పత్తి అవుతుంది. డిశ్చార్జ్ వోల్టేజ్ 800~1000V, ఆర్క్-రైజింగ్ కరెంట్ 30~50A ఉంటుంది. గ్లో డిశ్చార్జ్ యొక్క హాలో కాథోడ్ ప్రభావం కారణంగా, అధిక గ్లో డిశ్చార్జ్ కరెంట్ సాంద్రత వల్ల, సిల్వర్ ట్యూబ్‌లోని అధిక సాంద్రత గల అయాన్లు వాంటేజ్ ట్యూబ్ గోడను ఢీకొంటాయి. ఇది ట్యూబ్ గోడను వేగంగా వేడెక్కించి ఎలక్ట్రాన్ ప్రవాహాన్ని విడుదల చేస్తుంది. డిశ్చార్జ్ విధానం గ్లో డిశ్చార్జ్ నుండి అకస్మాత్తుగా ఆర్క్ డిశ్చార్జ్‌గా మారుతుంది. వోల్టేజ్ 40~70V, కరెంట్ 80~300A ఉంటుంది. సిల్వర్ ట్యూబ్ ఉష్ణోగ్రత 2300K కంటే ఎక్కువగా చేరుకుని, ప్రకాశవంతంగా మారుతుంది. ఇది ట్యూబ్ నుండి అధిక సాంద్రత గల ఆర్క్ ఎలక్ట్రాన్ల ప్రవాహాన్ని విడుదల చేసి, యానోడ్ వైపు దూసుకుపోతుంది.

6. వాక్యూమ్ స్థాయి సర్దుబాటు. హాలో కాథోడ్ గన్ నుండి వెలువడే గ్లో డిశ్చార్జ్ కోసం వాక్యూమ్ స్థాయి సుమారు 100 Pa ఉంటుంది, మరియు కోటింగ్ యొక్క వాక్యూమ్ డిగ్రీ 8×10⁻¹~2Pa ఉంటుంది. అందువల్ల, ఆర్క్ డిశ్చార్జ్ మండించిన తర్వాత, లోపలికి వచ్చే ఆర్గాన్ వాయువును వీలైనంత త్వరగా తగ్గించి, కోటింగ్‌కు అనువైన పరిధికి వాక్యూమ్ స్థాయిని సర్దుబాటు చేయండి.

7. టైటానియం పూత పూసిన ఆధార పొర. అనోడిక్‌గా కుదించబడిన చిన్ మెటల్ ఇంగట్‌పైకి ఎలక్ట్రాన్ ప్రవాహం, గతి శక్తి ఉష్ణ శక్తిగా మార్పిడి, వేడి చేయడం ద్వారా చిన్ మెటల్ ఆవిరైపోవడం, ఆవిరి అణువులు వర్క్‌పీస్‌ను చేరి టైటానియం ఫిల్మ్‌ను ఏర్పరుస్తాయి.

8. TiN నిక్షేపణ. కోటింగ్ చాంబర్‌కు నైట్రోజన్ వాయువును సరఫరా చేస్తారు. నైట్రోజన్ వాయువు మరియు ఆవిరైన పరమాణువులు నైట్రోజన్ మరియు టైటానియం అయాన్లుగా అయనీకరణం చెందుతాయి. క్రూసిబుల్ పైన, తక్కువ-శక్తి ఎలక్ట్రాన్‌ల దట్టమైన ప్రవాహాలతో టైటానియం ఆవిరి పరమాణువులు అస్థిర ఘర్షణలకు గురయ్యే సంభావ్యత ఎక్కువగా ఉంటుంది. లోహ విఘటన రేటు 20%~40% వరకు ఉంటుంది. టైటానియం అయాన్లు చర్య వాయువైన నైట్రోజన్‌తో రసాయనికంగా చర్య జరిపి, నైట్రైడ్ మాంటిల్ ఫిల్మ్ పొరను పొందేందుకు నిక్షేపణ చెందే అవకాశం ఎక్కువగా ఉంటుంది. హాలో కాథోడ్ గన్ ఒకవైపు ఆవిరిగా మార్చే మూలంగా, మరోవైపు అయనీకరణ మూలంగా పనిచేస్తుంది. కోటింగ్ సమయంలో, క్రూసిబుల్ చుట్టూ ఉన్న విద్యుదయస్కాంత కాయిల్ యొక్క కరెంట్‌ను కూడా సర్దుబాటు చేయాలి. ఎలక్ట్రాన్ పుంజాన్ని కుప్పకూలిన కేంద్రంపై కేంద్రీకరించాలి, తద్వారా ఎలక్ట్రాన్ ప్రవాహం యొక్క శక్తి సాంద్రత పెరుగుతుంది.

9. పవర్ ఆఫ్ చేయండి. ఫిల్మ్ మందం ముందుగా నిర్ణయించిన ఫిల్మ్ మందానికి చేరుకున్న తర్వాత, ఆర్క్ పవర్ సప్లై, బయాస్ పవర్ సప్లై మరియు ఎయిర్ సప్లైని ఆఫ్ చేయండి.