ຂະບວນການເຄືອບໄອອອນແຄໂທດຮູ

ຂະບວນການເຄືອບໄອອອນແຄໂທດຮູມີດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

1. ເອົາແທ່ງຄາງໃສ່ໃນບ່ອນພັງ.

2, ການຕິດຕັ້ງຊິ້ນວຽກ.

3、ຫຼັງຈາກອົບພະຍົບເຖິງ 5 × 10-3Pa, ອາຍແກັສອາກອນຈະຖືກນຳເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງເຄືອບຈາກທໍ່ເງິນ, ແລະລະດັບສູນຍາກາດແມ່ນປະມານ 100Pa.

4, ເປີດໄຟອະຄະຕິ.

5, ຫຼັງຈາກເປີດພະລັງງານໄຟຟ້າເພື່ອຈູດການປ່ອຍອະນຸພາກກາໂທດທີ່ເປັນຮູ. ການປ່ອຍອະນຸພາກກາໂທດຈະຖືກສ້າງຂຶ້ນໃນທໍ່ປຸ່ມ, ແຮງດັນປ່ອຍອະນຸພາກແມ່ນ 800~1000V, ກະແສໄຟຟ້າທີ່ເຮັດໃຫ້ເກີດອະນຸພາກແມ່ນ 30~50A. ເນື່ອງຈາກຜົນກະທົບຂອງອະນຸພາກກາໂທດທີ່ເປັນຮູຂອງການປ່ອຍອະນຸພາກ, ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງກະແສປ່ອຍອະນຸພາກສູງ, ຄວາມໜາແໜ້ນສູງຂອງໄອອອນທີ່ເຫຼືອໃນທໍ່ເງິນຈະລະເບີດຝາຂອງທໍ່ທີ່ເບິ່ງເຫັນໄດ້, ເຮັດໃຫ້ຝາຂອງທໍ່ຮ້ອນຂຶ້ນຢ່າງໄວວາຕາມການປ່ອຍກະແສເອເລັກຕຣອນ, ຮູບແບບການປ່ອຍອະນຸພາກຈາກການປ່ອຍອະນຸພາກຈະປ່ຽນໄປເປັນການປ່ອຍອະນຸພາກຢ່າງກະທັນຫັນ, ແຮງດັນແມ່ນ 40~70V, ກະແສໄຟຟ້າແມ່ນ 80~300A. ອຸນຫະພູມທໍ່ເງິນສູງກວ່າ 2300K, ແສງສະຫວ່າງ, ປ່ອຍກະແສເອເລັກຕຣອນທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງອອກຈາກທໍ່, ແລະຍິງໄປຫາຂົ້ວບວກ.

6, ການປັບລະດັບສູນຍາກາດ. ລະດັບສູນຍາກາດສຳລັບການປ່ອຍແສງຈາກປືນແຄໂທດຮູແມ່ນປະມານ 100 Pa, ແລະລະດັບສູນຍາກາດຂອງການເຄືອບແມ່ນ 8 × 10-1 ~ 2 Pa. ດັ່ງນັ້ນ, ຫຼັງຈາກການຈູດຂອງການປ່ອຍແສງອາກ, ໃຫ້ຫຼຸດອາຍແກັສອາກອນທີ່ເຂົ້າມາໄວເທົ່າທີ່ຈະໄວໄດ້, ປັບລະດັບສູນຍາກາດໃຫ້ຢູ່ໃນຂອບເຂດທີ່ເໝາະສົມສຳລັບການເຄືອບ.

7, ຊັ້ນພື້ນຖານທີ່ຊຸບດ້ວຍທາດໄທທານຽມ. ອີເລັກຕຣອນໄຫຼລົງໃສ່ແທ່ງໂລຫະຄາງທີ່ຍຸບຕົວລົງດ້ວຍອາໂນໄດ, ການປ່ຽນພະລັງງານຈົນເປັນພະລັງງານຄວາມຮ້ອນ, ການລະເຫີຍຂອງໂລຫະຄາງໂດຍການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ, ອະຕອມໄອນ້ຳໄປຮອດຊິ້ນວຽກເພື່ອສ້າງຟິມໄທທານຽມ.

8, ການຕົກຕະກອນຂອງ TiN. ອາຍແກັສໄນໂຕຣເຈນຖືກສະໜອງໃຫ້ຫ້ອງເຄືອບ, ອາຍແກັສໄນໂຕຣເຈນ ແລະ ອະຕອມລະເຫີຍຈະຖືກໄອອອນເຂົ້າໄປໃນໄອອອນໄນໂຕຣເຈນ ແລະ ໄທທານຽມ. ຢູ່ເທິງເຕົາອົບ, ຄວາມເປັນໄປໄດ້ສູງຂອງການປະທະກັນທີ່ບໍ່ຍືດຫຍຸ່ນຂອງອະຕອມໄອທານຽມທີ່ມີກະແສໄຟຟ້າພະລັງງານຕ່ຳທີ່ໜາແໜ້ນ, ອັດຕາການແຍກຕົວຂອງໂລຫະສູງເຖິງ 20% ~ 40%., ໄອອອນໄທທານຽມມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີກັບໄນໂຕຣເຈນອາຍແກັສປະຕິກິລິຍາ, ການຕົກຕະກອນເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຊັ້ນຟິມ nitride mantle. ປືນ cathode ຮູແມ່ນທັງແຫຼ່ງລະເຫີຍ, ແຫຼ່ງອື່ນຂອງການໄອອອນ. ໃນລະຫວ່າງການເຄືອບ, ກະແສໄຟຟ້າຂອງຂົດລວດແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າອ້ອມຮອບເຕົາອົບຄວນໄດ້ຮັບການປັບ, ສຸມໃສ່ລຳແສງເອເລັກຕຣອນໄປທີ່ຈຸດໃຈກາງຂອງການຍຸບຕົວ, ດັ່ງນັ້ນ, ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພະລັງງານຂອງການໄຫຼຂອງເອເລັກຕຣອນຈະເພີ່ມຂຶ້ນ.

9、ປິດເຄື່ອງ. ຫຼັງຈາກຄວາມໜາຂອງຟິມຮອດຄວາມໜາຂອງຟິມທີ່ກຳນົດໄວ້ແລ້ວ, ໃຫ້ປິດແຫຼ່ງຈ່າຍໄຟ arc, ແຫຼ່ງຈ່າຍໄຟ bias ແລະ ແຫຼ່ງຈ່າຍອາກາດ.