Ilana ti a fi bo ioni katode ṣofo jẹ bi atẹle:
1, Fi àwọn ìkọ́ Chin sínú ìfọ́ náà.
2, Fifi sori ẹrọ ti a fi n ṣe iṣẹ naa.
3, Lẹ́yìn tí wọ́n bá ti kó wọn kúrò ní 5×10-3Pa, wọ́n á fi gaasi argon sínú yàrá ìbòrí láti inú ọ̀pá fàdákà, ìpele ìgbálẹ̀ sì jẹ́ ní ìwọ̀n 100Pa.
4, Tan agbara abosi naa.
5, Lẹ́yìn tí a bá ti tan agbára arc láti tan ìtújáde cathode oníhò. Ìtújáde aláwọ̀ dúdú náà ni a máa ń ṣe nínú bọ́tìnì, Fóltéèjì ìtújáde jẹ́ 800~1000V, Ìtújáde arc tó ń gbé arc sókè jẹ́ 30~50A. Nítorí ipa cathode oníhò tí ìtújáde aláwọ̀ dúdú náà ń ní, Ìwọ̀n ìtújáde aláwọ̀ dúdú gíga, Ìwọ̀n gíga ti àwọn ion eku nínú bọ́tìnì fàdákà ń bo ògiri bọ́tìnì fífẹ̀ náà, Jẹ́ kí ògiri bọ́tìnì náà gbóná kíákíá títí tí ìtújáde elektron yóò fi jáde, ipò ìtújáde láti inú ìtújáde aláwọ̀ dúdú yí padà lójijì sí ìtújáde arc, Fóltéèjì jẹ́ 40~70V, Ìtújáde jẹ́ 80~300A. Ìwọ̀n otútù fàdákà dé òkè 2300K, Ìtújáde, Ó ń tú ìṣàn gíga ti àwọn elektron arc jáde láti inú bọ́tìnì náà, ó sì ń ta á sí anode.
6, Ṣíṣe àtúnṣe ìpele vacuum. Ìpele vacuum fún ìtújáde glove láti inú ibọn cathode hollow jẹ́ nǹkan bí 100 Pa, Ìpele vacuum ti ìbòrí sì jẹ́ 8×10-1~2Pa. Nítorí náà, lẹ́yìn tí a bá ti tan ìtújáde arc, dín gaasi argon tí ń wọlé kù ní kíákíá bí ó ti ṣeé ṣe, Ṣàtúnṣe ìpele vacuum sí ibi tí ó yẹ fún ìbòrí.
7, Ipele ipilẹ ti a fi titanium bo. Isun elekitironi si inu ingot irin Chin ti o ti bajẹ ti anodi, Iyipada agbara kinetic si agbara ooru, Itusilẹ ti irin Chin nipasẹ igbona, awọn atomu ategun de ibi iṣẹ lati ṣe fiimu titanium kan.
8,Ipo TiN.A pese gaasi nitrogen sinu yara ti a bo,gaasi nitrogen ati awọn atomu ti a ti gbẹ ni a ṣe aion sinu awọn ion nitrogen ati titanium.Lori aga,O ṣeeṣe ti awọn ikọlu inelastic ti awọn atomu vapor titanium pẹlu awọn ṣiṣan ti o nipọn ti awọn elekitironi agbara kekere,Iwọn pipin irin ga to 20% ~ 40%.,Awọn ion titanium ni o ṣeeṣe lati ṣe idahun pẹlu kemikali pẹlu nitrogen gaasi reaction,Ipo lati gba fẹlẹfẹlẹ fiimu nitride mantle kan.Ibon cathode ṣofo jẹ orisun vaporization mejeeji,Orisun ionization miiran.Lakoko ibora,O yẹ ki o tun ṣatunṣe sisan ti okun itanna ti o yi crucible ka.Dajudaju itanna tànmọ́lẹ̀ si aarin ti isubu naa,Nitorinaa, agbara iwuwo ti sisan elekitironi pọ si.
9, Pa agbara. Lẹ́yìn tí sisanra fiimu náà bá ti dé sisanra fiimu tí a ti pinnu tẹ́lẹ̀, pa ipese agbara arc, ipese agbara ati ipese afẹfẹ.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Keje-08-2023