Pròiseas còmhdach ion catod falamh

Tha am pròiseas còmhdach ion catod falamh mar a leanas:

1 、 Cuir ingotan smiogaid anns an tuiteam.

2, A 'cur suas an workpiece.

3 、 Às deidh dha falmhachadh gu 5 × 10-3Pa, thèid gas argon a thoirt a-steach don t-seòmar còmhdaich bhon phìob airgid, agus tha an ìre falamh timcheall air 100Pa.

4, Tionndaidh air a 'chumhachd bias.

5 、 Às deidh dhut an cumhachd arc a thionndadh gus an sgaoileadh catod falamh a lasadh. Tha an sgaoileadh glaodh air a chruthachadh anns an tiùb putan, is e bholtadh sgaoilidh 800 ~ 1000V, Is e an sruth togail arc 30 ~ 50A. Mar thoradh air buaidh catod falamh glow sgaoileadh, Dùmhlachd sruth sgaoilidh àrd glow, Tha an dùmhlachd àrd de ianan radan anns an tiùb airgid a’ spreadhadh balla an tiùb seallaidh, Thoir air balla an tiùba blàthachadh gu sgiobalta suas gu sgaoilidhean sruthadh dealanach, bidh am modh sgaoilidh bhon sgaoileadh glaodh ag atharrachadh gu h-obann gu sgaoileadh arc, tha bholtaids 40 ~ 70V, tha an-dràsta 80 ~ 300A.Silver tube teòthachd a’ ruighinn os cionn 2300K, gealbhruthach, A’ sgaoileadh sruth àrd dùmhlachd de eleactronan arc bhon tiùb, agus a’ losgadh chun anod.

6 、 Atharrachadh ìre falamh.Tha an ìre falamh airson leigeil a-mach glow bho ghunna catod falamh timcheall air 100 Pa, Agus is e an ìre falamh de chòmhdach 8 × 10-1 ~ 2Pa. gas cho luath ‘s a ghabhas, Atharraich an ìre falamh gu raon a tha iomchaidh airson còmhdach.

7 、 Titanium plated base layer.Electron a’ sruthadh a-steach don ingot meatailt Chin a tha air tuiteam gu anodically, Tionndadh lùth cineatach gu lùth teirmeach, Falachadh meatailt smiogaid le teasachadh, Bidh dadaman bhalbhaichean a’ ruighinn a ’phìos obrach gus film titanium a chruthachadh.

8 、 tasgadh TiN.Nitrogen gas air a thoirt don t-seòmar còmhdach, tha gas nitrogen agus dadaman falmhaichte air an ionachadh a-steach do naitridean agus ions titanium. Tha an ìre dissociation meatailt cho àrd ri 20% ~ 40%., Tha ions titanium nas dualtaiche dèiligeadh gu ceimigeach ris a’ ghas ath-bhualadh nitrigin, tasgadh gus còmhdach film culaidh nitride fhaighinn. de ionization.Rè còmhdachadh, Bu chòir sruth a’ choil electromagnetic timcheall air a’ bhreabadair atharrachadh cuideachd, Fòcas air an beam dealanach gu meadhan an tuiteam, Mar sin, tha dùmhlachd cumhachd sruthadh dealanach air a mheudachadh.

9 、 Power Off.After an tighead film a 'ruigsinn an ro-shuidhichte film tighead, Tionndaidh dheth arc cumhachd solar, Bias cumhachd solar agus adhair.