Хөндий катодын ионы бүрхүүлийн үйл явц

Хөндий катодын ионы бүрхүүлийн үйл явц дараах байдалтай байна.

1. Эрүүний гулдмайг нураах хэсэгт хийнэ.

2, Ажлын хэсгийг суурилуулах.

3, 5×10-3Па хүртэл ууршсаны дараа мөнгөн хоолойноос аргон хий бүрэх камерт оруулж, вакуумын түвшин 100Па орчим байна.

4, Хэвийсэн хүчийг асаана уу.

5, Нуман цахилгааныг асааж, хөндий катодын цэнэгийг асаана. Товчлуурын хоолойд гэрэлтсэн цэнэгээ үүсгэдэг, цэнэгийн хүчдэл 800~1000В, нуман өргөх гүйдэл 30~50А байна. Гэрэлтсэн цэнэгийн хөндий катодын нөлөөгөөр гэрэлтсэн цэнэгийн өндөр нягтралтай, мөнгөн хоолой дахь өндөр нягтралтай ионууд нь хяналтын хоолойн ханыг бөмбөгддөг. Хоолойн ханыг электрон урсгалын ялгаралтаар хурдан халаахад хүргэдэг, гэрэлтсэн цэнэгийн горим гэнэт нуман цэнэгээ рүү шилждэг, хүчдэл 40~70В, гүйдэл 80~300А байна. Мөнгөн хоолойн температур 2300К-аас дээш хүрдэг, улайсдаг, хоолойноос нуман электронуудын өндөр нягтралтай урсгалыг ялгаруулж, анод руу цацдаг.

6, Вакуум түвшинг тохируулах. Хөндий катодын буунаас гарах гэрэлтэлтийн вакуум түвшин ойролцоогоор 100 Па, бүрхүүлийн вакуум зэрэг нь 8×10-1~2Па байна. Тиймээс нуман цэнэг ассаны дараа орж ирж буй аргон хийг аль болох хурдан бууруулж, вакуум түвшинг бүрхүүлд тохиромжтой хэмжээнд тохируулна.

7, Титан бүрсэн суурь давхарга. Анодик байдлаар нурсан Чин металлын гулдмай руу электрон урсгал, Кинетик энергийг дулааны энерги болгон хувиргах, Чин металлыг халаах замаар ууршуулах, Уурын атомууд ажлын хэсэгт хүрч титан хальс үүсгэдэг.

8, TiN-ийн тунадасжилт. Азотын хийг бүрхүүлийн камерт нийлүүлж, азотын хий болон ууршсан атомуудыг азот болон титаны ион болгон ионжуулдаг. Тигелийн дээгүүр, титаны уурын атомууд бага энергитэй электронуудын нягт урсгалтай уян хатан бус мөргөлдөх магадлал өндөр, металлын диссоциацийн хурд 20% ~ 40% хүртэл өндөр, титаны ионууд нь урвалын хийн азоттой химийн урвалд орох магадлал өндөр, нитридийн мантийн хальсан давхарга авахын тулд тунадасжилт. Хөндий катодын буу нь ууршуулах эх үүсвэр бөгөөд ионжуулалтын өөр нэг эх үүсвэр юм. Бүрхүүл хийх явцад тигелийн эргэн тойрон дахь цахилгаан соронзон ороомгийн гүйдлийг мөн тохируулах шаардлагатай, электрон цацрагийг нуралтын төвд төвлөрүүл, ингэснээр электрон урсгалын чадлын нягтрал нэмэгддэг.

9. Цахилгаан унтраалт. Киноны зузаан нь урьдчилан тогтоосон хальсны зузаанд хүрсний дараа нуман тэжээлийн хангамж, хазайсан цахилгаан хангамж болон агаарын хангамжийг унтраа.