ដំណើរការនៃការស្រោបអ៊ីយ៉ុងកាតូតប្រហោងមានដូចខាងក្រោម៖
១. ដាក់ដុំឈិនចូលក្នុងកន្លែងដួលរលំ។
2. ការដំឡើងស្នាដៃ។
៣、បន្ទាប់ពីបញ្ចេញឧស្ម័នអារហ្គុនដល់ 5×10-3Pa ឧស្ម័នអារហ្គុនត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងបន្ទប់ថ្នាំកូតពីបំពង់ប្រាក់ ហើយកម្រិតសុញ្ញากาศគឺប្រហែល 100Pa។
៤. បើកថាមពលប៊ីយ៉ា។
៥、បន្ទាប់ពីបើកថាមពលធ្នូដើម្បីបញ្ឆេះការបញ្ចេញពន្លឺកាតូតប្រហោង។ ការបញ្ចេញពន្លឺត្រូវបានបង្កើតនៅក្នុងបំពង់ប៊ូតុង វ៉ុលបញ្ចេញគឺ 800~1000V ចរន្តបង្កើតធ្នូគឺ 30~50A។ ដោយសារតែឥទ្ធិពលកាតូតប្រហោងនៃការបញ្ចេញពន្លឺ ដង់ស៊ីតេចរន្តបញ្ចេញពន្លឺខ្ពស់ ដង់ស៊ីតេខ្ពស់នៃអ៊ីយ៉ុងសមាមាត្រនៅក្នុងបំពង់ប្រាក់បាញ់ទៅលើជញ្ជាំងនៃបំពង់មើលឃើញ ធ្វើឱ្យជញ្ជាំងបំពង់ឡើងកំដៅយ៉ាងលឿនទៅនឹងការបញ្ចេញលំហូរអេឡិចត្រុង របៀបបញ្ចេញពីការបញ្ចេញពន្លឺផ្លាស់ប្តូរភ្លាមៗទៅជាការបញ្ចេញធ្នូ វ៉ុលគឺ 40~70V ចរន្តគឺ 80~300A។ សីតុណ្ហភាពបំពង់ប្រាក់ឡើងដល់លើសពី 2300K ភ្លើងបំភ្លឺ បញ្ចេញចរន្តអេឡិចត្រុងធ្នូដង់ស៊ីតេខ្ពស់ពីបំពង់ ហើយបាញ់ទៅអាណូត។
៦、ការកែតម្រូវកម្រិតសុញ្ញากาศ។ កម្រិតសុញ្ញากาศសម្រាប់ការបញ្ចេញពន្លឺពីកាំភ្លើងកាតូតប្រហោងគឺប្រហែល 100 Pa ហើយកម្រិតសុញ្ញากาศនៃការស្រោបគឺ 8×10-1~2Pa។ ដូច្នេះ បន្ទាប់ពីបញ្ឆេះការបញ្ចេញធ្នូ សូមកាត់បន្ថយឧស្ម័នអារហ្គុនចូលឱ្យបានឆាប់តាមដែលអាចធ្វើទៅបាន កែតម្រូវកម្រិតសុញ្ញากาศទៅជួរដែលសមស្របសម្រាប់ការស្រោប។
7,ស្រទាប់មូលដ្ឋានស្រោបដោយទីតានីញ៉ូម។ អេឡិចត្រុងហូរទៅលើដុំដែកឈិនដែលដួលរលំដោយអាណូត ការបំប្លែងថាមពលចលនាទៅជាថាមពលកម្ដៅ ការហួតលោហៈឈិនដោយកំដៅ អាតូមចំហាយទឹកទៅដល់ផ្នែកធ្វើការដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តទីតានីញ៉ូម។
៨, ការដាក់ TiN។ ឧស្ម័នអាសូតត្រូវបានផ្គត់ផ្គង់ទៅបន្ទប់ថ្នាំកូត ឧស្ម័នអាសូត និងអាតូមហួតត្រូវបានអ៊ីយ៉ូដទៅជាអ៊ីយ៉ុងអាសូត និងទីតានីញ៉ូម។ លើសពីចង្ក្រានដែក ប្រូបាប៊ីលីតេខ្ពស់នៃការប៉ះទង្គិចគ្នាមិនបត់បែននៃអាតូមចំហាយទីតានីញ៉ូមជាមួយនឹងស្ទ្រីមក្រាស់នៃអេឡិចត្រុងថាមពលទាប អត្រាបំបែកលោហៈគឺខ្ពស់ដល់ 20% ~ 40%។ អ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូមទំនងជាមានប្រតិកម្មគីមីជាមួយអាសូតឧស្ម័នប្រតិកម្ម ការដាក់ដើម្បីទទួលបានស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត nitride ។ កាំភ្លើងកាតូតប្រហោងគឺជាប្រភពចំហាយទឹក ប្រភពមួយទៀតនៃអ៊ីយ៉ូដ។ ក្នុងអំឡុងពេលថ្នាំកូត ចរន្តនៃខ្សែអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចជុំវិញចង្ក្រានដែកក៏គួរតែត្រូវបានកែតម្រូវផងដែរ ផ្តោតធ្នឹមអេឡិចត្រុងទៅកណ្តាលនៃការដួលរលំ ដូច្នេះដង់ស៊ីតេថាមពលនៃលំហូរអេឡិចត្រុងត្រូវបានកើនឡើង។
៩, បិទថាមពល។ បន្ទាប់ពីកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តឈានដល់កម្រាស់ខ្សែភាពយន្តដែលបានកំណត់ទុកជាមុន សូមបិទការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលធ្នូ, ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលលំអៀង និងការផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែកក្កដា-០៨-២០២៣