Mae'r broses o orchuddio ïon catod gwag fel a ganlyn:
1 、 Rhowch ingotau Chin yn y cwymp.
2 、 Mowntio'r darn gwaith.
3 、 Ar ôl gwacáu i 5 × 10-3Pa, cyflwynir nwy argon i'r siambr cotio o'r tiwb arian, ac mae lefel y gwactod tua 100Pa.
4 、 Trowch y pŵer rhagfarn ymlaen.
5 、 Ar ôl troi'r pŵer arc ymlaen i danio'r rhyddhau cathod gwag. Cynhyrchir y gollyngiad glow yn y tiwb botwm, foltedd rhyddhau yw 800 ~ 1000V, Mae'r cerrynt codi arc yn 30 ~ 50A. Oherwydd effaith catod gwag y llewyrch rhyddhau, Dwysedd cerrynt rhyddhau glow uchel, Mae dwysedd uchel yr ïonau llygod mawr yn y tiwb arian yn peledu wal y tiwb gwylio, Gwnewch i wal y tiwb gynhesu'n gyflym i allyriad llif electronau, mae'r modd rhyddhau o'r gollyngiad glow yn newid yn sydyn i gollyngiad arc, Foltedd yn 40 ~ 70V, ar hyn o bryd yn 80 ~ 300A.Silver tymheredd tiwb yn cyrraedd uwch na 2300K, Gwynias, Allyrru llif dwysedd uchel o electronau arc o'r tiwb, a saethu i'r anod.
6 、 Addasiad lefel gwactod. Mae lefel y gwactod ar gyfer rhyddhau glow o gwn catod gwag tua 100 Pa, Ac mae gradd gwactod y cotio yn 8 × 10-1 ~ 2Pa. nwy cyn gynted â phosibl, Addaswch y lefel gwactod i ystod sy'n addas ar gyfer cotio.
7 、 Titanium plated sylfaen haenen sylfaen. Llif electron i'r ingot metel Gên wedi cwympo'n anodically, Trosi egni cinetig i ynni thermol, Anweddu metel Gên trwy wresogi, Mae atomau anwedd yn cyrraedd y darn gwaith i ffurfio ffilm titaniwm.
8 、 Dyddodiad o TiN.Nitrogen nwy yn cael ei gyflenwi i'r siambr cotio, nwy nitrogen ac atomau anwedd yn cael eu ïoneiddio i mewn i ïonau nitrogen a thitaniwm. Mae'r gyfradd daduniad metel mor uchel ag 20%~40%.,Mae ïonau titaniwm yn fwy tebygol o adweithio'n gemegol â'r nitrogen nwy adwaith, Dyddodiad i gael haenen ffilm fantell nitrid. Mae'r gwn catod gwag yn ffynhonnell anweddu，Ffynhonnell arall o ionization.During cotio,Dylid hefyd addasu cerrynt y coil electromagnetig o amgylch y crucible,Canolbwyntio'r trawst electron i ganol y cwymp, Felly, mae dwysedd pŵer llif electronau yn cynyddu.
9 、 Power Off.Ar ôl i'r trwch ffilm gyrraedd y trwch ffilm a bennwyd ymlaen llaw, Diffoddwch y cyflenwad pŵer arc, cyflenwad pŵer bias a chyflenwad aer.
Amser postio: Gorff-08-2023