Proseso sa hollow cathode ion coating

Ang proseso sa hollow cathode ion coating mao ang mosunod:

1, Ibutang ang mga Chin ingots sa collapse.

2. Pag-instalar sa workpiece.

3, Human sa pag-evacuate ngadto sa 5 × 10-3Pa, ang argon gas gipaila ngadto sa coating chamber gikan sa silver tube, ug ang vacuum level anaa sa palibot sa 100Pa.

4. I-on ang bias power.

5. Human sa pag-on sa arc power, i-siga ang hollow cathode discharge. Ang glow discharge mamugna sa button tube. Ang discharge voltage kay 800~1000V, Ang arc-raising current kay 30~50A. Tungod sa hollow cathode effect sa glow discharge, Taas nga glow discharge current density, Ang taas nga density sa rat ions sa silver tube mobomba sa bungbong sa vantage tube, Makapainit dayon sa bungbong sa tube sa emission sa electron flow, ang discharge mode gikan sa glow discharge kalit nga mausab ngadto sa arc discharge, Boltahe kay 40~70V, Ang current kay 80~300A. Ang temperatura sa silver tube moabot sa labaw sa 2300K, Incandescent, Mopagawas ug taas nga density sa arc electrons gikan sa tube, ug mo-shot ngadto sa anode.

6. Pag-adjust sa vacuum level. Ang vacuum level para sa glow discharge gikan sa hollow cathode gun kay mga 100 Pa, Ug ang vacuum degree sa coating kay 8×10-1~2Pa. Busa, Human sa pag-ignition sa arc discharge, Pakunhuran ang mosulod nga argon gas sa labing madali, I-adjust ang vacuum level sa range nga angay para sa coating.

7、Titanium plated base layer. Pag-agos sa electron ngadto sa anodically collapsed Chin metal ingot, Pagkakabig sa kinetic energy ngadto sa thermal energy, Pag-alisngaw sa Chin metal pinaagi sa pagpainit, Ang mga atomo sa alisngaw makaabot sa workpiece aron maporma ang titanium film.

8、Pagdeposito sa TiN. Ang nitroheno nga gas gisuplay sa coating chamber, ang nitroheno nga gas ug ang mga evaporated nga atomo gi-ionize ngadto sa nitroheno ug titanium ions. Sa ibabaw sa crucible, mas taas ang posibilidad sa inelastic collisions sa titanium vapor atoms nga adunay dasok nga mga sapa sa low-energy electrons, ang metal dissociation rate moabot sa 20% ~ 40%., ang titanium ions mas lagmit nga mo-react sa kemikal sa reaction gas nitrogen, pagdeposito aron makakuha og nitride mantle film layer. Ang hollow cathode gun usa ka tinubdan sa vaporization, laing tinubdan sa ionization. Atol sa coating, ang current sa electromagnetic coil sa palibot sa crucible kinahanglan usab nga i-adjust, i-focus ang electron beam sa sentro sa collapse, busa, ang power density sa electron flow motaas.

9. I-off ang kuryente. Human makaabot sa gibag-on sa pelikula sa gitakda nang daan nga gibag-on, i-off ang arc power supply, ug ang bias power supply.