Boş katod ion örtüginiň prosesi aşakdaky ýaly:
1 Chin Çin çeňňeklerini ýykyň.
2 work Iş bölegini gurnamak.
3 5 5 × 10-3Pa ewakuasiýa edilenden soň, kümüş turbadan örtük kamerasyna argon gazy girizilýär we wakuum derejesi 100Pa töweregi.
4 bias Tarap güýjüni açyň.
5 hol Boş katod akymyny ýakmak üçin ýaý güýjüni açanyňyzdan soň. Owalpyldawuk akym düwme turbasynda emele gelýär, Akymyň naprýa 800eniýesi 800 ~ 1000V, ýaýyň ýokarlandyryjy tok 30 ~ 50A bolýar. Owalpyldawuk akymyň boş katod täsiri sebäpli, ýokary ýalpyldawuk tok akymynyň dykyzlygy, kümüş turba içindäki çybyk ionlarynyň ýokary dykyzlygy, turbanyň diwaryny çaltlaşdyrýar. ýalpyldawuk akym ýaýyň akymyna duýdansyz üýtgeýär, naprýa 40eniýe 40 ~ 70V, tok 80 ~ 300A.Silwer turbanyň temperaturasy 2300K-den ýokary, akkor, turbadan ýaý elektronlarynyň ýokary dykyzlygy akymyny çykarýar we anoda atylýar.
6 v Wakuum derejesini sazlamak. Çukur katod ýaragyndan ýalpyldawuk akmak üçin wakuum derejesi takmynan 100 Pa, örtügiň wakuum derejesi bolsa 8 × 10-1 ~ 2Pa. Şonuň üçin ýaýyň çykarylmagyndan soň gelýän argon gazyny gysga wagtda azaldyň, wakuum derejesini örtmek üçin laýyk diapazona sazlaň.
7 、 Titan örtülen esasy gatlak. Elektron anodiki çöken Çin metal ingotyna akýar, kinetiki energiýany ýylylyk energiýasyna öwürmek, Çin metalyny ýylatmak arkaly bugarmak, Bug atomlary titanium filmini emele getirmek üçin iş ýerine ýetýär.
8 T TiN. Azot gazy örtük kamerasyna berilýär, azot gazy we bugarýan atomlar azot we titanium ionlaryna ionlaşdyrylýar. Az energiýaly elektronlaryň dykyz akymlary bilen titanium bug atomlarynyň inelastik çaknyşmagynyň has ýokary ähtimallygy, demiriň bölüniş derejesi 20% ~ 40% -e deňdir. azot, nitrit manty film gatlagyny almak üçin çöketlik. Içindäki katod ýaragy hem bugarmak çeşmesidir ion Ionizasiýanyň başga bir çeşmesi. Örtük örtügi, Elektromagnit rulonyň toguny hem sazlamaly, elektron şöhlesini çöküşiň merkezine gönükdiriň, Şeýlelik bilen, elektron akymynyň güýç dykyzlygy ýokarlanýar.
9 、 Öçürmek. Filmiň galyňlygy öňünden kesgitlenen filmiň galyňlygyna ýetenden soň, ýaýyň elektrik üpjünçiligini öçüriň as Iki taraplaýyn elektrik üpjünçiligi we howa üpjünçiligi.
Iş wagty: Iýul-08-2023