Indium gala oksidi (ITO diýlip atlandyrylýan Indium Tin Okside) giň zolakly boşluk, ýokary doply n görnüşli ýarymgeçiriji materiallar, ýokary görünýän ýagtylyk geçirijiligi we pes garşylyk häsiýetleri bilen, şeýlelik bilen gün öýjüklerinde, tekiz panelli displeýlerde, elektrokrom penjirelerde, organiki däl we organiki inçe filmli elektroluminesensiýa, lazer diodlary we ultramelewşe detektorlary we ş.m. impulsly lazer çökdürilmegi, tüýkürmek, himiki bug çökdürilmegi, ýylylyk bölünişi, sol-jel, bugarmak we ş.m. bugarmak usulynyň arasynda iň köp ulanylýan elektron şöhlesiniň bugarmagydyr.
ITO filmini taýýarlamagyň köp usuly bar, şol sanda impulsly lazer çökdürilmegi, tüýkürmek, himiki bug çökdürmek, pürküji piroliz, sol-gel, bugarmak we ş.m., iň köp ulanylýan bugarmak usuly elektron şöhlesiniň bugarmagydyr. ITO filmleriniň bugarmagy taýýarlamagyň adatça iki usuly bar: biri ýokary arassalygy In, Sn erginini çeşme materialy hökmünde, reaksiýanyň bugarmagy üçin kislorod atmosferasynda ulanmak; ikinjisi, ýokary bugly In2O3 :, SnO2 garyndysyny göni bugarmak üçin çeşme materialy hökmünde ulanmak. Filmiň ýokary geçirijiligi we pes garşylygy bilen film döretmek üçin, adatça has ýokary substrat temperaturasy ýa-da filmiň soňraky ýakylmagy zerur. HR Fallah we başgalar. ITO inçe filmleri goýmak, çökdürme derejesiniň, gyzdyryjy temperaturanyň we beýleki proses parametrleriniň filmiň gurluşyna, elektrik we optiki aýratynlyklaryna täsirini öwrenmek üçin pes temperaturada elektron şöhlesiniň bugarmak usulyny ulandy. Depolýasiýa derejesini peseltmegiň geçirijiligini ýokarlandyryp we pes temperaturada ösýän filmleriň garşylygyny peseldip biljekdigini bellediler. Görünýän ýagtylygyň geçirijiligi 92% -den gowrak, garşylygy 7X10-4Ωm. otag temperaturasynda 350 ~ 550 at derejesinde ösdürilip ýetişdirilen ITO filmlerini gabadylar we gyzdyryjy temperatura näçe ýokary bolsa, ITO filmleriniň kristal häsiýetiniň şonça gowydygyny anykladylar. 550 at derejesinde garylandan soň filmleriň görünýän ýeňil geçirijiligi 93%, dänäniň ululygy bolsa 37nm. plazma kömegi bilen filmiň emele gelmeginde iň möhüm faktor bolan filmiň emele gelmeginde substratyň temperaturasyny hem peseldip biler we kristallylygy hem iň möhümdir. Plazma kömegi bilen usul, film emele gelende substratyň temperaturasyny peseldip biler we depozitden alnan ITO filmi gowy ýerine ýetirýär. S. Laux we başganyň taýýarlan ITO filminiň garşylygy. gaty pes, 5 * 10- ”Ωcm, 550nm-de ýagtylygyň siňdirilmegi 5% -den az, filmiň garşylygy we optiki zolak giňligi çöketlik döwründe kislorod basyşyny üýtgetmek arkaly hem üýtgeýär.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Mart-23-2024