กระบวนการเคลือบไอออนแคโทดกลวง

กระบวนการเคลือบไอออนแคโทดกลวงมีดังนี้:

1、ใส่แท่งชินลงในส่วนที่ยุบตัว

2、การติดตั้งชิ้นงาน

3、หลังจากอพยพออกไปที่ 5×10-3Pa แล้ว แก๊สอาร์กอนจะถูกนำเข้าไปในห้องเคลือบจากท่อเงิน และระดับสุญญากาศจะอยู่ที่ประมาณ 100Pa

4、เปิดไฟไบอัส

5、หลังจากเปิดไฟกระแสอาร์คเพื่อจุดไฟการคายประจุแคโทดกลวง การคายประจุแบบเรืองแสงจะเกิดในหลอดปุ่ม แรงดันการคายประจุคือ 800~1000V กระแสไฟฟ้าที่ทำให้เกิดการคายประจุแบบเรืองแสงคือ 30~50A เนื่องมาจากผลของการคายประจุแบบเรืองแสงแคโทดกลวง ความหนาแน่นกระแสการคายประจุแบบเรืองแสงสูง ความหนาแน่นสูงของอัตราส่วนไอออนในหลอดเงินจะถล่มผนังของหลอดที่ได้เปรียบ ทำให้ผนังหลอดร้อนขึ้นอย่างรวดเร็วจนถึงการปล่อยอิเล็กตรอน โหมดการคายประจุจากการปล่อยประจุแบบเรืองแสงจะเปลี่ยนแปลงกะทันหันเป็นการคายประจุแบบอาร์ค แรงดันไฟคือ 40~70V กระแสไฟฟ้าคือ 80~300A อุณหภูมิของหลอดเงินจะสูงกว่า 2300K หลอดไส้ ปล่อยกระแสอิเล็กตรอนอาร์คความหนาแน่นสูงจากหลอด และยิงไปที่ขั้วบวก

6、การปรับระดับสูญญากาศ ระดับสูญญากาศสำหรับการคายประจุเรืองแสงจากปืนแคโทดกลวงอยู่ที่ประมาณ 100 Pa และระดับสูญญากาศของการเคลือบอยู่ที่ 8×10-1~2Pa ดังนั้น หลังจากการจุดระเบิดการคายประจุไฟฟ้า ให้ลดก๊าซอาร์กอนที่เข้ามาโดยเร็วที่สุด ปรับระดับสูญญากาศไปที่ช่วงที่เหมาะสมสำหรับการเคลือบ

7、ชั้นฐานชุบไททาเนียม อิเล็กตรอนไหลลงบนแท่งโลหะ Chin ที่ยุบตัวแบบแอนโนไดซ์ การแปลงพลังงานจลน์เป็นพลังงานความร้อน การระเหยของโลหะ Chin ด้วยการให้ความร้อน อะตอมไอจะไปถึงชิ้นงานเพื่อสร้างฟิล์มไททาเนียม

8、การสะสมของก๊าซไนโตรเจน TiN จะถูกส่งไปยังห้องเคลือบ ก๊าซไนโตรเจนและอะตอมที่ระเหยจะถูกทำให้แตกตัวเป็นไอออนไนโตรเจนและไอออนไททาเนียม เหนือเบ้าหลอม มีโอกาสสูงที่อะตอมไอไททาเนียมจะชนกับกระแสอิเล็กตรอนพลังงานต่ำอย่างหนาแน่น อัตราการแตกตัวของโลหะสูงถึง 20%~40% ไอออนไททาเนียมมีแนวโน้มที่จะทำปฏิกิริยาทางเคมีกับก๊าซไนโตรเจนที่ทำปฏิกิริยามากกว่า การสะสมเพื่อให้ได้ชั้นฟิล์มแมนเทิลไนไตรด์ ปืนแคโทดกลวงเป็นทั้งแหล่งระเหยและแหล่งแตกตัวอีกแหล่งหนึ่ง ในระหว่างการเคลือบ ควรปรับกระแสของขดลวดแม่เหล็กไฟฟ้ารอบเบ้าหลอมด้วย โฟกัสลำแสงอิเล็กตรอนไปที่ศูนย์กลางของการยุบตัว ดังนั้น ความหนาแน่นของพลังงานของการไหลของอิเล็กตรอนจึงเพิ่มขึ้น

9、ปิดเครื่อง หลังจากความหนาของฟิล์มถึงความหนาของฟิล์มที่กำหนดไว้แล้ว ให้ปิดแหล่งจ่ายไฟแบบอาร์ค แหล่งจ่ายไฟแบบไบอัส และแหล่งจ่ายไฟอากาศ