1. мошини молидани ion катод нахӯрад ва мошини молидани ion камон сим гарм
Дар болои камераи пӯшиш таппончаи катодии холӣ ва таппончаи камони сими гарм, дар поёни анод ва дар боло ва поёни канори камераи пӯшиш ду печи электромагнитӣ насб карда шудаанд. Ҷараёни электрони нури камон аз боло ба поён барои ҳаракати хати спиралӣ.
2. Магнити доимӣ плюс назорати электромагнитӣ манбаи камон катод даврашакл хурд
Гӯшти электромагнитӣ нуқтаи камонро барои ҳаракати гардиш дар гирду атрофи ҳадаф суръат мебахшад, ки вақти будубоши нуқтаи камонро дар сатҳи ҳадаф коҳиш медиҳад, майдони ҳавзи гудохтаро коҳиш медиҳад ва ташкили қабати плёнкаро такмил медиҳад.
3.Dual манбаи камон катодӣ назорати электромагнитӣ
Манбаи камони катодӣ бо ду печи электромагнитӣ муҷаҳҳаз шудааст, ки суръати гардиши ҷараёни электронҳоро беҳтар мекунад ва ташкили қабати плёнкаро такмил медиҳад.
4.Magnetron Cyclotron PECVD
Дар беруни камераи пӯшиши DC PECVD ду печи электромагнитӣ насб карда шудааст, то электронҳоро гардиш кунад, ки эҳтимолияти бархӯрди электронҳо ва газро зиёд мекунад ва суръати диссоциатсияи зарраҳоро дар қабати филм беҳтар мекунад.
5.ECR печи печи PECVD
Дар камераи пӯшиш берун аз болоӣ ва поёнӣ бо ду печи электромагнитӣ насб карда шуда метавонад, суръати dissociation беҳтар.
6.Arc Light Discharge PECVD
Дар разряди камон камераи пӯшонидани таҷҳизоти PECVD дар атрофи насби болоӣ ва поёнии ду печи электромагнитӣ, ҷойгиркунии плёнкаи алмос, майдони электромагнитии коаксиалӣ гардиши электрони камонро барои ҳавасманд кардани ионизатсияи гази карбогидридҳо гардиш кардан мумкин аст.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: октябр-24-2023