కోక్సియల్ విద్యుదయస్కాంత క్షేత్ర రకం అయాన్ పూత యంత్రం

1. హాలో కాథోడ్ అయాన్ పూత యంత్రం మరియు హాట్ వైర్ ఆర్క్ అయాన్ పూత యంత్రం

కోటింగ్ చాంబర్ పైభాగంలో హాలో కాథోడ్ గన్ మరియు హాట్ వైర్ ఆర్క్ గన్ అమర్చబడి ఉంటాయి, ఆనోడ్ దిగువన అమర్చబడి ఉంటుంది మరియు కోటింగ్ చాంబర్ పెరిఫెరీ యొక్క పైభాగంలో మరియు దిగువన రెండు విద్యుదయస్కాంత కాయిల్స్ అమర్చబడి ఉంటాయి. సర్పిలాకార రేఖ కదలికను చేయడానికి ఆర్క్ లైట్ ఎలక్ట్రాన్ పై నుండి క్రిందికి ప్రవహిస్తుంది.

2. చిన్న వృత్తాకార కాథోడ్ ఆర్క్ మూలం యొక్క శాశ్వత అయస్కాంతం ప్లస్ విద్యుదయస్కాంత నియంత్రణ

లక్ష్యం చుట్టుకొలతలో భ్రమణ కదలిక చేయడానికి విద్యుదయస్కాంత కాయిల్ ఆర్క్ స్పాట్‌ను వేగవంతం చేస్తుంది, ఇది లక్ష్య ఉపరితలంపై ఆర్క్ స్పాట్ యొక్క నివాస సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది, కరిగిన పూల్ యొక్క వైశాల్యాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు ఫిల్మ్ లేయర్ ఆర్గనైజేషన్‌ను మెరుగుపరుస్తుంది.

3.ద్వంద్వ విద్యుదయస్కాంత నియంత్రణ కాథోడిక్ ఆర్క్ మూలం

కాథోడిక్ ఆర్క్ మూలం రెండు విద్యుదయస్కాంత కాయిల్స్‌తో అమర్చబడి ఉంటుంది, ఇది ఎలక్ట్రాన్ ప్రవాహం యొక్క భ్రమణ వేగాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది మరియు ఫిల్మ్ లేయర్ ఆర్గనైజేషన్‌ను మెరుగుపరుస్తుంది.

4.మాగ్నెట్రాన్ సైక్లోట్రాన్ PECVD

ఎలక్ట్రాన్లు తిరిగేలా చేయడానికి DC PECVD పూత గది వెలుపల రెండు విద్యుదయస్కాంత కాయిల్స్ ఏర్పాటు చేయబడ్డాయి, ఇది ఎలక్ట్రాన్లు మరియు వాయువు మధ్య ఢీకొనే సంభావ్యతను పెంచుతుంది మరియు ఫిల్మ్ పొరలోని కణాల విచ్ఛేదనం రేటును మెరుగుపరుస్తుంది.

5.ECR మైక్రోవేవ్ PECVD

రెండు విద్యుదయస్కాంత కాయిల్స్‌తో ఎగువ మరియు దిగువన అమర్చబడిన పూత గదిలో, డిస్సోసియేషన్ రేటును మెరుగుపరచవచ్చు.

6.ఆర్క్ లైట్ డిశ్చార్జ్ PECVD

ఆర్క్ డిశ్చార్జ్ PECVD పరికరాల పూత గదిలో రెండు విద్యుదయస్కాంత కాయిల్స్ యొక్క ఎగువ మరియు దిగువ సంస్థాపన చుట్టూ, డైమండ్ ఫిల్మ్ నిక్షేపణ, హైడ్రోకార్బన్‌ల వాయువు అయనీకరణాన్ని ప్రేరేపించడానికి కోక్సియల్ విద్యుదయస్కాంత క్షేత్రాన్ని ఆర్క్ ఎలక్ట్రాన్ ప్రవాహాన్ని తిప్పవచ్చు.

–ఈ వ్యాసం ప్రచురించినదివాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్ర తయారీదారుగ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా