கோஆக்சியல் மின்காந்த புல வகை அயன் பூச்சு இயந்திரம்

1. வெற்று கேத்தோடு அயன் பூச்சு இயந்திரம் மற்றும் சூடான கம்பி வில் அயன் பூச்சு இயந்திரம்

பூச்சு அறையின் மேற்புறத்தில் வெற்று கேத்தோடு துப்பாக்கி மற்றும் சூடான கம்பி வில் துப்பாக்கி நிறுவப்பட்டுள்ளன, கீழே அனோட் நிறுவப்பட்டுள்ளது, மற்றும் பூச்சு அறையின் சுற்றளவில் மேல் மற்றும் கீழ் இரண்டு மின்காந்த சுருள்கள் நிறுவப்பட்டுள்ளன. சுழல் கோடு இயக்கத்தைச் செய்ய ஆர்க் லைட் எலக்ட்ரான் மேலிருந்து கீழ் நோக்கி பாய்கிறது.

2. சிறிய வட்ட வடிவ கேத்தோடு வில் மூலத்தின் நிரந்தர காந்தம் மற்றும் மின்காந்தக் கட்டுப்பாடு

மின்காந்த சுருள், இலக்கின் சுற்றளவில் சுழற்சி இயக்கத்தைச் செய்ய வில் புள்ளியை துரிதப்படுத்துகிறது, இது இலக்கு மேற்பரப்பில் வில் புள்ளியின் குடியிருப்பு நேரத்தைக் குறைக்கிறது, உருகிய குளத்தின் பரப்பளவைக் குறைக்கிறது மற்றும் படல அடுக்கு அமைப்பைச் செம்மைப்படுத்துகிறது.

3. இரட்டை மின்காந்தக் கட்டுப்பாட்டு கத்தோடிக் வில் மூலம்

கத்தோடிக் வில் மூலமானது இரண்டு மின்காந்த சுருள்களுடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது, இது எலக்ட்ரான் ஓட்டத்தின் சுழற்சி வேகத்தை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் படல அடுக்கு அமைப்பைச் செம்மைப்படுத்துகிறது.

4. காந்தம் சைக்ளோட்ரான் PECVD

எலக்ட்ரான்கள் சுழலும்படி செய்ய DC PECVD பூச்சு அறைக்கு வெளியே இரண்டு மின்காந்த சுருள்கள் நிறுவப்பட்டுள்ளன, இது எலக்ட்ரான்களுக்கும் வாயுவிற்கும் இடையிலான மோதலின் நிகழ்தகவை அதிகரிக்கிறது, மேலும் படல அடுக்கில் உள்ள துகள்களின் விலகல் விகிதத்தை மேம்படுத்துகிறது.

5.ECR மைக்ரோவேவ் PECVD

பூச்சு அறைக்கு வெளியே இரண்டு மின்காந்த சுருள்களுடன் மேல் மற்றும் கீழ் நிறுவப்பட்டால், விலகல் விகிதத்தை மேம்படுத்தலாம்.

6.ஆர்க் லைட் டிஸ்சார்ஜ் PECVD

இரண்டு மின்காந்த சுருள்களின் மேல் மற்றும் கீழ் நிறுவலைச் சுற்றியுள்ள வில் வெளியேற்ற PECVD உபகரண பூச்சு அறையில், வைரப் படலத்தின் படிவு, ஹைட்ரோகார்பன்களின் வாயு அயனியாக்கத்தைத் தூண்டுவதற்கு கோஆக்சியல் மின்காந்த புலத்தை சுழற்றலாம்.

–இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா