Mashine ya mipako ya ion ya aina ya sumakuumeme ya coaxial

1. Mashine ya mipako ya ion ya cathode yenye mashimo na mashine ya mipako ya arc ion ya waya ya moto

Bunduki ya mashimo ya cathode na bunduki ya arc ya waya ya moto imewekwa juu ya chumba cha mipako, anode imewekwa chini, na coil mbili za umeme zimewekwa juu na chini ya pembeni ya chumba cha mipako. Tao mwanga elektroni mtiririko kutoka juu hadi chini kufanya ond line harakati.

2. Sumaku ya kudumu pamoja na udhibiti wa sumakuumeme ya chanzo kidogo cha arc ya cathode ya mviringo

Koili ya sumakuumeme huharakisha eneo la arc kufanya harakati za mzunguko katika mduara wa lengo, ambayo hupunguza muda wa kukaa wa arc doa kwenye uso unaolengwa, hupunguza eneo la bwawa la kuyeyuka na husafisha shirika la safu ya filamu.

3.Dual electromagnetic kudhibiti cathodic arc chanzo

Chanzo cha arc cathodic kina vifaa vya coil mbili za sumakuumeme, ambayo inaboresha kasi ya mzunguko wa mtiririko wa elektroni na inaboresha shirika la safu ya filamu.

4.Magnetron Cyclotron PECVD

Koili mbili za sumakuumeme zimewekwa nje ya chumba cha mipako cha DC PECVD ili kufanya elektroni zizunguke, jambo ambalo huongeza uwezekano wa mgongano kati ya elektroni na gesi, na kuboresha kiwango cha mtengano wa chembe kwenye safu ya filamu.

5.ECR Microwave PECVD

Katika chumba mipako nje imewekwa juu na chini na coils mbili sumakuumeme, inaweza kuboresha kiwango cha kujitenga.

6.Arc Mwanga Utoaji PECVD

Katika kutokwa arc PECVD vifaa mipako chumba karibu na ufungaji wa juu na chini ya coils mbili za sumakuumeme, utuaji wa filamu ya almasi, shamba Koaxial sumakuumeme inaweza kuzungushwa arc elektroni kati yake ili kuchochea ionization gesi ya hidrokaboni.

- Nakala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua