1. Maskin för beläggning av ihålig katodjon och maskin för beläggning av hettrådsbågjon
Hålkatodpistolen och hettrådsbågspistolen är installerade högst upp i beläggningskammaren, anoden är installerad längst ner och två elektromagnetiska spolar är installerade högst upp och längst ner i beläggningskammarens periferi. Bågelektronerna flödar från toppen till botten för att skapa en spiralformad linjerörelse.
2. Permanentmagnet plus elektromagnetisk styrning av den lilla cirkulära katodbågskällan
Den elektromagnetiska spolen accelererar bågfläcken för att utföra en roterande rörelse längs målets omkrets, vilket minskar bågfläckens uppehållstid på målytan, minskar arean av den smälta poolen och förfinar filmskiktets organisation.
3. Dubbel elektromagnetisk styrd katodisk bågkälla
Katodbågskällan är utrustad med två elektromagnetiska spolar, vilket förbättrar elektronflödets rotationshastighet och förfinar filmskiktets organisation.
4. Magnetroncyklotron PECVD
Två elektromagnetiska spolar är installerade utanför DC PECVD-beläggningskammaren för att få elektronerna att rotera, vilket ökar sannolikheten för kollision mellan elektronerna och gasen, och förbättrar dissociationshastigheten för partiklarna i filmlagret.
5.ECR Mikrovågsugn PECVD
I beläggningskammaren utanför den installerade övre och nedre med två elektromagnetiska spolar kan dissociationshastigheten förbättras.
6. Båglutladdning PECVD
I beläggningskammaren för bågurladdnings-PECVD-utrustningen är det två elektromagnetiska spolarna installerade runt de övre och nedre delarna av den elektromagnetiska spiralen. En diamantfilm avsätts och det koaxiella elektromagnetiska fältet roteras. Elektronflödet i bågen stimulerar jonisering av kolväten.
–Denna artikel är publicerad avtillverkare av vakuumbeläggningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publiceringstid: 24 oktober 2023