1. Mesin palapis ion katoda kerung sareng mesin palapis ion arc kawat panas
Gun katoda kerung jeung bedil arc kawat panas dipasang di luhureun chamber palapis, anoda dipasang di handap, sarta dua coils éléktromagnétik dipasang di luhur jeung handap periphery chamber palapis. Arc cahaya éléktron ngalir ti luhur ka handap pikeun ngalakukeun gerakan garis spiral.
2. Magnet permanén tambah kontrol éléktromagnétik tina sumber busur katoda sirkular leutik
The coil éléktromagnétik accelerates titik arc pikeun ngalakukeun gerakan Rotary dina kuriling udagan, nu ngurangan waktu tinggal titik arc dina beungeut target, nurun wewengkon kolam renang molten jeung refines organisasi lapisan pilem.
3.Dual kontrol éléktromagnétik sumber arc cathodic
Sumber arc cathodic ieu dilengkepan dua coils éléktromagnétik, nu ngaronjatkeun laju rotational aliran éléktron na refines organisasi lapisan pilem.
4. Magnetron Cyclotron PECVD
Dua coils éléktromagnétik dipasang di luar DC PECVD palapis chamber sangkan éléktron muterkeun, nu ngaronjatkeun probabilitas tabrakan antara éléktron jeung gas, sarta ngaronjatkeun laju disosiasi partikel dina lapisan pilem.
5.ECR gelombang mikro PECVD
Dina chamber palapis luar dipasang luhur jeung handap dua coils éléktromagnétik, bisa ningkatkeun laju disosiasi.
6.Arc Lampu ngurangan PECVD
Dina arc ngurangan PECVD parabot palapis chamber sabudeureun instalasi luhur jeung handap dua coils éléktromagnétik, déposisi pilem inten, médan éléktromagnétik coaxial bisa diputer arc aliran éléktron pikeun merangsang ionisasi gas hidrokarbon.
– Tulisan ieu dikaluarkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
waktos pos: Oct-24-2023