1. Mochini oa ho roala oa cathode ion le mochini o chesang oa terata ea arc ion
Sethunya sa cathode se sekoti le sethunya sa terata se chesang se kentsoe ka holim'a kamore ea ho roala, anode e kenngoa ka tlase, 'me li-coil tse peli tsa motlakase li kenngoa ka holimo le ka tlase ho periphery ea kamore ea ho roala. Arc light electron e phalla ho tloha holimo ho ea tlase ho etsa motsamao oa spiral line.
2. Magnetic e sa feleng hammoho le taolo ea motlakase ea mohloli o monyenyane oa selikalikoe oa cathode arc
Coil ea motlakase e potlakisa sebaka sa arc ho etsa motsamao oa rotary selikalikoe sa sepheo, se fokotsang nako ea ho lula sebakeng se shebiloeng, se fokotsa sebaka sa letamo le entsoeng ka ho qhibilihisoa le ho ntlafatsa mokhatlo oa lera la lifilimi.
3.Dual electromagnetic control cathodic arc mohloli
Mohloli oa cathodic arc o na le li-coil tse peli tsa motlakase, tse ntlafatsang lebelo la ho potoloha ha elektronike le ho hloekisa mokhatlo oa lera la lifilimi.
4.Magnetron Cyclotron PECVD
Li-coil tse peli tsa electromagnetic li kenngoa ka ntle ho kamore ea ho roala ea DC PECVD ho etsa hore lielektrone li potolohe, e leng ho eketsang monyetla oa ho thulana pakeng tsa lielektrone le khase, le ho ntlafatsa sekhahla sa ho arohana ha likaroloana tsa lera la filimi.
5.ECR Microwave PECVD
Ka kamoreng ea ho roala ka ntle ho e kentsoeng ka holimo le ka tlaase ka li-coil tse peli tsa electromagnetic, e ka ntlafatsa sekhahla sa ho arohana.
6.Arc Light Discharge PECVD
Ka arc discharge PECVD thepa barbotage ka kamoreng e ho pota-pota ka holimo le ka tlaase ho hlongoa li-coil tse peli tsa electromagnetic, deposition ea taemane filimi, le coaxial electromagnetic tšimo e ka rotated arc elektrone phallo ho susumelletsa ionization khase ea hydrocarbon.
-Sengoliloeng sena se lokolloa kemoetsi oa mochine oa vacuum coatingGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Oct-24-2023