1. Машина за јонско премазивање са шупљом катодом и машина за јонско премазивање врућом жицом
Шупљи катодни пиштољ и пиштољ са врућом жицом за лучно загревање су постављени на врху коморе за премазивање, анода је постављена на дну, а два електромагнетна калема су постављена на врху и дну периферије коморе за премазивање. Електрони светлости лука теку од врха до дна и врше спирално кретање линије.
2. Перманентни магнет плус електромагнетна контрола малог кружног катодног лучног извора
Електромагнетни калем убрзава лучну тачку да би се вршила ротациона кретање по ободу мете, што смањује време задржавања лучне тачке на површини мете, смањује површину растопљеног базена и побољшава организацију слоја филма.
3. Двоструки електромагнетно контролисани извор катодног лука
Катодни извор лука је опремљен са два електромагнетна калема, што побољшава брзину ротације протока електрона и усавршава организацију слоја филма.
4. Магнетрон Циклотрон PECVD
Две електромагнетне завојнице су инсталиране изван DC PECVD коморе за премаз како би се електрони ротирали, што повећава вероватноћу судара између електрона и гаса и побољшава брзину дисоцијације честица у слоју филма.
5.ECR Микроталасна PECVD
У комори за премазивање, споља су инсталирани горњи и доњи део са два електромагнетна калема, што може побољшати брзину дисоцијације.
6. Пражњење лучним светлом PECVD
У комори за премазивање PECVD опреме за лучно пражњење око горње и доње инсталације два електромагнетна калема, таложење дијамантског филма, коаксијално електромагнетно поље може ротирати лучни проток електрона да би се стимулисала јонизација гаса угљоводоника.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 24. октобар 2023.