Procesi i veshjes së joneve të katodës së zbrazët

Procesi i veshjes së joneve të katodës së zbrazët është si më poshtë:

1, Vendosni shufrat e mjekrës në kolaps.

2, Montimi i pjesës së punës.

3, Pas evakuimit në 5 × 10-3Pa, gazi i argonit futet në dhomën e veshjes nga tubi i argjendit, dhe niveli i vakumit është rreth 100Pa.

4, Aktivizoni fuqinë e polarizimit.

5, Pas ndezjes së fuqisë së harkut për të ndezur shkarkimin e katodës së zbrazët. Shkarkimi i shkëlqimit gjenerohet në tubin e butonit. Tensioni i shkarkimit është 800~1000V, rryma e ngritjes së harkut është 30~50A. Për shkak të efektit të katodës së zbrazët të shkarkimit të shkëlqimit, dendësia e lartë e rrymës së shkarkimit të shkëlqimit, dendësia e lartë e joneve të miut në tubin e argjendit bombardon murin e tubit të avantazhit, bën që muri i tubit të ngrohet shpejt deri në emetimin e rrjedhës së elektroneve, mënyra e shkarkimit nga shkarkimi i shkëlqimit ndryshon papritur në shkarkim me hark. Tensioni është 40~70V, rryma është 80~300A. Temperatura e tubit të argjendit arrin mbi 2300K, inkandeshente, lëshon një rrjedhë me dendësi të lartë të elektroneve të harkut nga tubi dhe hidhet në anodë.

6. Rregullimi i nivelit të vakumit. Niveli i vakumit për shkarkimin e shkëlqimit nga pistoleta e katodës së zbrazët është rreth 100 Pa, dhe shkalla e vakumit të veshjes është 8×10-1~2Pa. Prandaj, pas ndezjes së shkarkimit me hark, zvogëloni gazin e argonit hyrës sa më shpejt të jetë e mundur, rregulloni nivelin e vakumit në një diapazon të përshtatshëm për veshje.

7, Shtresa bazë e veshur me titan. Rrjedhja e elektroneve mbi shufrën metalike Chin të shembur në mënyrë anodike. Shndërrimi i energjisë kinetike në energji termike. Avullimi i metalit Chin me anë të ngrohjes. Atomet e avullit arrijnë në pjesën e punës për të formuar një film titaniumi.

8, Depozitimi i TiN. Gazi i azotit furnizohet në dhomën e veshjes, gazi i azotit dhe atomet e avulluara jonizohen në jone azoti dhe titaniumi. Mbi enën e shkrirjes, probabiliteti i përplasjeve joelastike të atomeve të avullit të titanit me rrjedha të dendura elektronesh me energji të ulët është më i lartë. Shkalla e disociimit të metalit është deri në 20%~40%. Jonet e titanit kanë më shumë gjasa të reagojnë kimikisht me azotin e gazit të reagimit. Depozitimi për të marrë një shtresë filmi të mantelit të nitridit. Arma e katodës së zbrazët është njëkohësisht një burim avullimi. Një burim tjetër jonizimi. Gjatë veshjes, rryma e spirales elektromagnetike rreth enës duhet gjithashtu të rregullohet. Fokusoni rrezen e elektroneve në qendër të kolapsit. Kështu, dendësia e fuqisë së rrjedhës së elektroneve rritet.

9, Fikeni. Pasi trashësia e filmit të arrijë trashësinë e paracaktuar të filmit, fikni furnizimin me energji të harkut, furnizimin me energji të polarizuar dhe furnizimin me ajër.