1. Mashiinka dahaarka ee cathode ion hollow iyo mashiinka dahaarka arc ion silig kulul
Qoryaha godan ee cathode-ka ah iyo qoriga fiilo kulul ayaa lagu rakibay xagga sare ee qolka daahan, anode-ku wuxuu ku rakiban yahay xagga hoose, iyo laba gariirood oo elektromagnetic ah ayaa lagu rakibay xagga sare iyo hoose ee qolka dahaarka. Arc iftiin elektaroonik ah oo ka socda kor ilaa hoos si uu u sameeyo dhaqdhaqaaqa xariiqda wareega.
2. Magnet joogto ah oo lagu daray kontoroolka korantada ee isha cathode wareegta yar
Gariiradda elektiroonigga ah waxay dardar gelisaa booska qaansada si ay u sameyso dhaqdhaqaaq wareeg ah oo wareeg ah ee bartilmaameedka, taas oo yaraynaysa wakhtiga degenaanshaha barta arc ee dusha bartilmaameedka, waxay hoos u dhigtaa aagga barkadda dhalaalka ah waxayna nadiifisaa ururka lakabka filimka.
3.Dual electromagnetic control cathodic arc isha
Ilaha cathodic arc wuxuu ku qalabaysan yahay laba gariirood oo elektromagnetic ah, kaas oo wanaajinaya xawaaraha wareega ee socodka elektaroonigga ah oo nadiifiya ururka lakabka filimka.
4.Magnetron Cyclotron PECVD
Laba gariirood oo elektromagnetic ah ayaa lagu rakibay meel ka baxsan qolka daahan DC PECVD si ay elektaroonidu u wareegaan, taas oo kordhisa suurtogalnimada isku dhaca elektaroonigga iyo gaaska, waxayna wanaajisaa heerka kala-soocidda qaybaha qaybaha lakabka filimka.
5.ECR Microwave PECVD
Qolka daahan ka baxsan rakibay sare iyo hoose oo leh laba gariiradda electromagnetic, hagaajin kartaa heerka kala qaybsanaan.
6.Arc Light Discharge PECVD
Qolka dahaarka qalabka PECVD ee ku wareegsan rakibaadda sare iyo hoose ee laba gariirood oo elektromagnetic ah, dhigista filimka dheemanka, goobta korantada kookaha ayaa lagu wareejin karaa qulqulka elektiroonigga ah si loo kiciyo ionization gaaska ee hydrocarbons.
–Maqaalkan waxa soo saaraysoo saaraha mashiinka daahan vacuumGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Oct-24-2023