1. Hold Cathede Uon Coating Maketi ma Wor Care Arc UC UC UK COINK
O le pu cathode gaogao ma uaea vevela arc fana ua faapipiiina i le pito i luga o le potu ufiufi, ua faapipii le anode i le pito i lalo, ma e lua coils electromagnetic ua faapipiiina i le pito i luga ma le pito i lalo o le periphery potu ufiufi. Arc malamalama eletise e tafe mai le pito i luga i le pito i lalo e fai le gaioiga laina laina.
2. Maneta tumau fa'atasi ai ma le pule fa'aeletise o le fa'apogai arc cathode lapotopoto laiti
O le coil electromagnetic faatelevaveina le nofoaga arc e faia ai gaoioiga rotary i le circumference o le taulaiga, lea e faaitiitia ai le taimi nofo ai o le arc nofoaga i luga o le mata taulaʻiga, faaitiitia le vaega o le vaitaele uʻamea ma faʻaleleia le faʻatulagaina o ata tifaga.
3.Dual electromagnetic pulea cathodic arc puna
O le cathodic arc source ua faʻapipiʻiina i lua electromagnetic coils, lea e faʻaleleia ai le saoasaoa o le taamilosaga o le tafe eletise ma faʻaleleia le faʻatulagaina o ata tifaga.
4.Manetron Cyclotron PECVD
E lua coils electromagnetic o loʻo faʻapipiʻiina i fafo atu o le potu faʻapipiʻi DC PECVD e faʻafefe ai le eletise, lea e faʻateleina ai le avanoa o le fetoʻai i le va o le eletise ma le kesi, ma faʻaleleia le fua faatatau o le dissociation o vaega i le ata tifaga.
5.ECR Microwave PECVD
I totonu o le potu faʻapipiʻi i fafo atu o le faʻapipiʻiina o le pito i luga ma le pito i lalo ma le lua electromagnetic coils, e mafai ona faʻaleleia le fua o le dissociation.
6.Arc Light Discharge PECVD
I le arc lafoaia PECVD meafaigaluega ufiufi potu faataamilo i luga ma lalo faapipiiina o lua electromagnetic coils, deposition o ata tifaga taimane, le coaxial fanua electromagnetic e mafai ona rotated arc electron tafe e faaosofia ai le ionization kasa o hydrocarbons.
–O lenei tusiga ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua
Taimi meli: Oke-24-2023