1. Stroj za ionsko prevleko z votlo katodo in stroj za ionsko prevleko z vročo žico
Votla katodna pištola in pištola z vročo žico sta nameščeni na vrhu komore za nanos premaza, anoda je nameščena na dnu, dve elektromagnetni tuljavi pa sta nameščeni na zgornjem in spodnjem delu oboda komore za nanos premaza. Elektroni obloka potujejo od zgoraj navzdol in se gibljejo po spiralni liniji.
2. Stalni magnet in elektromagnetno krmiljenje majhnega krožnega katodnega obločnega vira
Elektromagnetna tuljava pospeši obločno točko, da se vrti okoli oboda tarče, kar zmanjša čas zadrževanja obločne točke na površini tarče, zmanjša površino staljene talilne kadi in izboljša organizacijo filmske plasti.
3. Dvojni elektromagnetni nadzor katodnega loka
Katodni obločni vir je opremljen z dvema elektromagnetnima tuljavama, kar izboljša hitrost vrtenja elektronskega toka in izboljša organizacijo filmske plasti.
4. Magnetronski ciklotron PECVD
Zunaj DC PECVD prevlečne komore sta nameščeni dve elektromagnetni tuljavi, ki povzročata vrtenje elektronov, kar poveča verjetnost trka med elektroni in plinom ter izboljša hitrost disociacije delcev v filmski plasti.
5. ECR Mikrovalovna PECVD
V zunanjosti komore za premazovanje sta nameščeni zgornji in spodnji del z dvema elektromagnetnima tuljavama, kar lahko izboljša hitrost disociacije.
6. PECVD za razelektritev svetlobnega obloka
V komori za prevleko z obločnim razelektritvijo PECVD se okoli zgornje in spodnje namestitve dveh elektromagnetnih tuljav nanese diamantni film, koaksialno elektromagnetno polje pa lahko vrti tok elektronskih oblokov, da spodbudi ionizacijo plina ogljikovodikov.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 24. oktober 2023