1. Stroj na iónové nanášanie s dutou katódou a stroj na iónové nanášanie s horúcim drôtom
Dutá katódová zváracia tryska a zváracia tryska s horúcim drôtom sú nainštalované v hornej časti nanášacej komory, anóda je nainštalovaná v spodnej časti a dve elektromagnetické cievky sú nainštalované v hornej a spodnej časti obvodu nanášacej komory. Elektróny oblúka prúdia zhora nadol a vytvárajú špirálový pohyb.
2. Permanentný magnet plus elektromagnetické ovládanie malého kruhového katódového oblúkového zdroja
Elektromagnetická cievka zrýchľuje oblúkovú škvrnu, aby vykonávala rotačný pohyb po obvode terča, čo skracuje čas zotrvania oblúkovej škvrny na povrchu terča, zmenšuje plochu roztaveného kúpeľa a zdokonaľuje organizáciu vrstvy filmu.
3. Zdroj katódového oblúka s dvojitým elektromagnetickým riadením
Zdroj katódového oblúka je vybavený dvoma elektromagnetickými cievkami, ktoré zlepšujú rýchlosť otáčania toku elektrónov a zdokonaľujú organizáciu vrstvy filmu.
4. Magnetrónový cyklotrón PECVD
Mimo povlakovej komory DC PECVD sú nainštalované dve elektromagnetické cievky, ktoré spôsobujú rotáciu elektrónov, čo zvyšuje pravdepodobnosť zrážky medzi elektrónmi a plynom a zlepšuje rýchlosť disociácie častíc vo vrstve filmu.
5. ECR Mikrovlnná PECVD
V mimopovrchovej nanášacej komore sú nainštalované horná a dolná časť s dvoma elektromagnetickými cievkami, čo môže zlepšiť rýchlosť disociácie.
6. Výboj oblúkového svetla PECVD
V povlakovej komore zariadenia s oblúkovým výbojom PECVD okolo hornej a dolnej inštalácie dvoch elektromagnetických cievok, nanáša sa diamantový film, koaxiálne elektromagnetické pole môže otáčať tok elektrónov oblúka, aby sa stimulovala ionizácia plynu uhľovodíkov.
–Tento článok vydávavýrobca vákuových lakovacích strojovGuangdong Zhenhua
Čas uverejnenia: 24. októbra 2023