1. කුහර කැතෝඩ අයන ආලේපන යන්ත්රය සහ උණුසුම් වයර් චාප අයන ආලේපන යන්ත්රය
කුහර කැතෝඩ තුවක්කුව සහ උණුසුම් වයර් චාප තුවක්කුව ආලේපන කුටියේ මුදුනේ සවි කර ඇති අතර, ඇනෝඩය පහළින් සවි කර ඇති අතර, ආලේපන කුටියේ පරිධියේ ඉහළ සහ පහළින් විද්යුත් චුම්භක දඟර දෙකක් සවි කර ඇත. සර්පිලාකාර රේඛා චලනය සිදු කිරීම සඳහා චාප ආලෝක ඉලෙක්ට්රෝන ඉහළ සිට පහළට ගලා යයි.
2. කුඩා වෘත්තාකාර කැතෝඩ චාප ප්රභවයේ ස්ථිර චුම්භක සහ විද්යුත් චුම්භක පාලනය
විද්යුත් චුම්භක දඟරය ඉලක්කයේ පරිධියේ භ්රමණ චලනය සිදු කිරීම සඳහා චාප ස්ථානය වේගවත් කරයි, එමඟින් ඉලක්ක පෘෂ්ඨයේ චාප ස්ථානයේ පදිංචි කාලය අඩු කරයි, උණු කළ තටාකයේ ප්රදේශය අඩු කරයි සහ පටල ස්ථර සංවිධානය පිරිපහදු කරයි.
3. ද්විත්ව විද්යුත් චුම්භක පාලන කැතෝඩික් චාප ප්රභවය
කැතෝඩික් චාප ප්රභවය විද්යුත් චුම්භක දඟර දෙකකින් සමන්විත වන අතර එමඟින් ඉලෙක්ට්රෝන ප්රවාහයේ භ්රමණ වේගය වැඩි දියුණු කරන අතර පටල ස්ථර සංවිධානය පිරිපහදු කරයි.
4. චුම්භක සයික්ලොට්රෝන් PECVD
ඉලෙක්ට්රෝන භ්රමණය වීමට සැලැස්වීම සඳහා DC PECVD ආලේපන කුටියෙන් පිටත විද්යුත් චුම්භක දඟර දෙකක් සවි කර ඇති අතර එමඟින් ඉලෙක්ට්රෝන සහ වායුව අතර ගැටීමේ සම්භාවිතාව වැඩි වන අතර පටල ස්ථරයේ අංශුවල විඝටන අනුපාතය වැඩි දියුණු වේ.
5.ECR මයික්රෝවේව් PECVD
විද්යුත් චුම්භක දඟර දෙකක් සහිත ඉහළ සහ පහළ ස්ථාපනය කර ඇති ආලේපන කුටියේ පිටතින්, විඝටන අනුපාතය වැඩි දියුණු කළ හැකිය.
6. චාප ආලෝක විසර්ජන PECVD
ඉහළ සහ පහළ ස්ථාපනය වටා චාප විසර්ජන PECVD උපකරණ ආලේපන කුටියේ විද්යුත් චුම්භක දඟර දෙකක්, දියමන්ති පටල තැන්පත් කිරීම, කෝක්ෂික විද්යුත් චුම්භක ක්ෂේත්රය හයිඩ්රොකාබන වායු අයනීකරණය උත්තේජනය කිරීම සඳහා චාප ඉලෙක්ට්රෝන ප්රවාහය භ්රමණය කළ හැකිය.
–මෙම ලිපිය ප්රකාශයට පත් කර ඇත්තේරික්ත ආලේපන යන්ත්ර නිෂ්පාදකයාGuangdong Zhenhua
පළ කිරීමේ කාලය: ඔක්තෝබර්-24-2023