1. Машина для ионного покрытия с полым катодом и машина для ионного покрытия с дугой горячей проволоки
Пушка с полым катодом и дуговая пушка с горячей проволокой установлены в верхней части камеры покрытия, анод установлен в нижней части, а две электромагнитные катушки установлены в верхней и нижней части периферии камеры покрытия. Электронный поток света дуги движется сверху вниз, создавая спиральное линейное движение.
2. Постоянный магнит плюс электромагнитное управление небольшим дуговым источником с круглым катодом
Электромагнитная катушка ускоряет пятно дуги, заставляя его совершать вращательное движение по окружности мишени, что сокращает время пребывания пятна дуги на поверхности мишени, уменьшает площадь расплавленной ванны и улучшает организацию слоя пленки.
3.Двойной электромагнитный источник катодной дуги
Катодно-дуговой источник оснащен двумя электромагнитными катушками, что улучшает скорость вращения электронного потока и улучшает организацию пленочных слоев.
4.Магнетрон-циклотрон PECVD
Снаружи камеры нанесения покрытия DC PECVD установлены две электромагнитные катушки, которые заставляют электроны вращаться, что увеличивает вероятность столкновения электронов с газом и улучшает скорость диссоциации частиц в слое пленки.
5. Микроволновая электрохимическая плазмохимическая осаждение из газовой фазы (ПХОГФ)
В камере нанесения покрытия снаружи установлены верхняя и нижняя части с двумя электромагнитными катушками, что позволяет улучшить скорость диссоциации.
6. Дуговой разряд PECVD
В камере покрытия оборудования PECVD с дуговым разрядом вокруг верхней и нижней установки двух электромагнитных катушек происходит осаждение алмазной пленки, коаксиальное электромагнитное поле может вращать поток электронов дуги для стимуляции ионизации газа углеводородов.
–Эта статья опубликованапроизводитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуа
Время публикации: 24-окт-2023