1. Mașină de acoperire cu ioni cu catod gol și mașină de acoperire cu ioni cu arc cu fir cald
Pistolul cu catod gol și pistolul cu arc cu fir cald sunt instalate în partea superioară a camerei de acoperire, anodul este instalat în partea de jos, iar două bobine electromagnetice sunt instalate în partea superioară și inferioară a periferiei camerei de acoperire. Electronii din lumina arcului curg de sus în jos pentru a realiza o mișcare spiralată.
2. Magnet permanent plus control electromagnetic al sursei mici de arc catodic circular
Bobina electromagnetică accelerează punctul arcului pentru a efectua o mișcare rotativă în circumferința țintei, ceea ce reduce timpul de staționare a punctului arcului pe suprafața țintei, scade aria băii topite și rafinează organizarea stratului de film.
3. Sursă de arc catodic cu control electromagnetic dual
Sursa cu arc catodic este echipată cu două bobine electromagnetice, care îmbunătățesc viteza de rotație a fluxului de electroni și rafinează organizarea straturilor de film.
4. Magnetron Ciclotron PECVD
Două bobine electromagnetice sunt instalate în afara camerei de acoperire DC PECVD pentru a face electronii să se rotească, ceea ce crește probabilitatea de coliziune dintre electroni și gaz și îmbunătățește rata de disociere a particulelor din stratul de film.
5.ECR Microunde PECVD
În camera de acoperire exterioară, instalate partea superioară și inferioară cu două bobine electromagnetice, se poate îmbunătăți rata de disociere.
6. Descărcarea cu arc electric PECVD
În camera de acoperire a echipamentului PECVD cu descărcare cu arc, în jurul instalației superioare și inferioare a două bobine electromagnetice se depune o peliculă de diamant, iar câmpul electromagnetic coaxial poate roti fluxul de electroni cu arc pentru a stimula ionizarea gazului hidrocarburilor.
–Acest articol este publicat deproducător de mașini de acoperire în vidGuangdong Zhenhua
Data publicării: 24 oct. 2023