1. Máquina de revestimento iônico de cátodo oco e máquina de revestimento iônico de arco de fio quente
O canhão de cátodo oco e o canhão de arco de fio quente são instalados na parte superior da câmara de revestimento, o ânodo é instalado na parte inferior e duas bobinas eletromagnéticas são instaladas na parte superior e inferior da periferia da câmara de revestimento. O fluxo de elétrons da luz do arco de cima para baixo realiza o movimento da linha espiral.
2. Ímã permanente mais controle eletromagnético da pequena fonte de arco catódico circular
A bobina eletromagnética acelera o ponto do arco para fazer movimento rotativo na circunferência do alvo, o que reduz o tempo de residência do ponto do arco na superfície do alvo, diminui a área da poça de fusão e refina a organização da camada do filme.
3. Fonte de arco catódico de controle eletromagnético duplo
A fonte de arco catódico é equipada com duas bobinas eletromagnéticas, o que melhora a velocidade de rotação do fluxo de elétrons e refina a organização da camada do filme.
4.Magnetron Ciclotron PECVD
Duas bobinas eletromagnéticas são instaladas fora da câmara de revestimento DC PECVD para fazer os elétrons girarem, o que aumenta a probabilidade de colisão entre os elétrons e o gás e melhora a taxa de dissociação das partículas na camada do filme.
5.ECR Micro-ondas PECVD
Na câmara de revestimento externa, a parte superior e a inferior são instaladas com duas bobinas eletromagnéticas, o que pode melhorar a taxa de dissociação.
6. Descarga de luz de arco PECVD
Na câmara de revestimento do equipamento PECVD de descarga de arco ao redor da instalação superior e inferior de duas bobinas eletromagnéticas, deposição de filme de diamante, o campo eletromagnético coaxial pode ser girado pelo fluxo de elétrons do arco para estimular a ionização gasosa de hidrocarbonetos.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento a vácuoGuangdongZhenhua
Horário da publicação: 24 de outubro de 2023