۱. د تشې کیتوډ ایون کوټینګ ماشین او د ګرمو تار آرک ایون کوټینګ ماشین
د کوټینګ چیمبر په سر کې تشه کیتوډ ټوپک او د ګرم تار آرک ټوپک نصب شوي، انود په ښکته کې نصب شوی، او دوه الکترو مقناطیسي کویلونه د کوټینګ چیمبر په پورتنۍ او ښکته برخه کې نصب شوي دي. د سرپل لاین حرکت کولو لپاره د آرک رڼا الکترون له پورته څخه ښکته ته جریان لري.
۲. د کوچني ګردي کیتوډ قوس سرچینې دایمي مقناطیس او الکترومقناطیسي کنټرول
الکترومقناطیسي کویل د هدف په محیط کې د څرخيدونکي حرکت لپاره د قوس ځای ګړندی کوي، کوم چې د هدف په سطحه د قوس ځای د استوګنې وخت کموي، د پړسیدلي حوض ساحه کموي او د فلم طبقې تنظیم اصلاح کوي.
۳. دوه ګونی الکترومقناطیسی کنټرول کیتوډیک آرک سرچینه
د کاتوډیک آرک سرچینه په دوو الکترو مقناطیسي کویلونو سمبال ده، کوم چې د الکترون جریان د گردش سرعت ښه کوي او د فلم طبقې تنظیم اصلاح کوي.
۴. مقناطیسي سایکلوټرون PECVD
دوه الکترومقناطیسي کویلونه د DC PECVD کوټینګ چیمبر څخه بهر نصب شوي ترڅو الکترونونه وګرځوي، کوم چې د الکترونونو او ګاز ترمنځ د ټکر احتمال زیاتوي، او د فلم طبقه کې د ذراتو د جلا کیدو کچه ښه کوي.
۵. د ECR مایکروویو PECVD
د کوټینګ چیمبر کې چې بهر نصب شوی، پورتنۍ او ښکته برخه د دوه الکترو مقناطیسي کویلونو سره، کولی شي د جلا کیدو کچه ښه کړي.
۶. د قوس رڼا خارجونکی PECVD
د آرک ډیسچارج PECVD تجهیزاتو کوټینګ چیمبر کې د دوه الکترو مقناطیسي کویلونو د پورتنۍ او ښکته نصب شاوخوا، د الماس فلم جمع کول، د کواکسیل الکترو مقناطیسي ساحه د هایدروکاربنونو د ګاز ایونیزیشن هڅولو لپاره د آرک الیکترون جریان ګرځیدلی شي.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: د اکتوبر-۲۴-۲۰۲۳