1. Maszyna do powlekania jonowego z katodą wnękową i maszyna do powlekania jonowego łukiem elektrycznym z gorącym drutem
Pistolet z pustą katodą i pistolet z gorącym drutem łukowym są zainstalowane na górze komory powlekającej, anoda jest zainstalowana na dole, a dwie cewki elektromagnetyczne są zainstalowane na górze i dole obwodu komory powlekającej. Przepływ elektronów światła łukowego od góry do dołu, aby wykonać ruch linii spiralnej.
2. Magnes trwały plus sterowanie elektromagnetyczne małego okrągłego łuku katodowego
Cewka elektromagnetyczna przyspiesza łuk elektryczny, aby umożliwić ruch obrotowy wokół tarczy, co skraca czas przebywania łuku elektrycznego na powierzchni tarczy, zmniejsza powierzchnię jeziorka stopionego metalu i poprawia organizację warstwy filmu.
3.Podwójne źródło łuku katodowego ze sterowaniem elektromagnetycznym
Źródło łuku katodowego wyposażone jest w dwie cewki elektromagnetyczne, co zwiększa prędkość obrotową przepływu elektronów i udoskonala organizację warstwy filmu.
4. Magnetronowy cyklotron PECVD
Na zewnątrz komory powlekania DC PECVD zainstalowano dwie cewki elektromagnetyczne, które wprawiają elektrony w ruch obrotowy, co zwiększa prawdopodobieństwo zderzenia elektronów z gazem i poprawia szybkość dysocjacji cząstek w warstwie filmu.
5.ECR Mikrofalowy PECVD
W komorze powlekania na zewnątrz zainstalowano górną i dolną cewkę elektromagnetyczną, co pozwala na zwiększenie szybkości dysocjacji.
6. Łuk świetlny PECVD
W komorze powlekania urządzenia łukowego PECVD wokół górnej i dolnej instalacji dwóch cewek elektromagnetycznych, osadzanie filmu diamentowego, współosiowe pole elektromagnetyczne może obracać się łukiem elektronowym, aby stymulować jonizację gazu węglowodorów.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 24-paź-2023