1. Hulkatodeionbeleggsmaskin og varmtrådbueionbeleggsmaskin
Hulkatodepistolen og varmtrådsbuepistolen er installert øverst i belegningskammeret, anoden er installert nederst, og to elektromagnetiske spoler er installert øverst og nederst i belegningskammerets periferi. Bueelektroner strømmer fra toppen til buen for å utføre en spiralformet linjebevegelse.
2. Permanentmagnet pluss elektromagnetisk kontroll av den lille sirkulære katodebuekilden
Den elektromagnetiske spolen akselererer lysbuepunktet for å utføre en roterende bevegelse i omkretsen av målet, noe som reduserer oppholdstiden til lysbuepunktet på måloverflaten, reduserer arealet av smeltebadet og forbedrer filmlagets organisering.
3. Dobbel elektromagnetisk kontroll katodisk lysbuekilde
Den katodiske lysbuekilden er utstyrt med to elektromagnetiske spoler, noe som forbedrer rotasjonshastigheten til elektronstrømmen og forbedrer filmlagets organisering.
4. Magnetronsyklotron PECVD
To elektromagnetiske spoler er installert utenfor DC PECVD-beleggkammeret for å få elektronene til å rotere, noe som øker sannsynligheten for kollisjon mellom elektronene og gassen, og forbedrer dissosiasjonshastigheten til partiklene i filmlaget.
5.ECR Mikrobølgeovn PECVD
I beleggkammeret utenfor er det installert to elektromagnetiske spoler i den øvre og nedre delen, noe som kan forbedre dissosiasjonshastigheten.
6. Lysbueutladning PECVD
I beleggkammeret for lysbueutladnings-PECVD-utstyret er det installert to elektromagnetiske spoler rundt den øvre og nedre delen av apparatet. En diamantfilm avsettes og det koaksiale elektromagnetiske feltet roteres. Elektronstrømmen i lysbuen stimulerer gassioniseringen av hydrokarboner.
– Denne artikkelen er publisert avprodusent av vakuumbeleggsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publisert: 24. oktober 2023