1. Holle kathode-ionencoatingmachine en hete draadboog-ionencoatingmachine
Het hollekathodekanon en het hetedraadboogkanon zijn boven in de coatingkamer geïnstalleerd, de anode is onderin geïnstalleerd en twee elektromagnetische spoelen zijn boven en onder in de omtrek van de coatingkamer geïnstalleerd. De elektronen van de booglichtstroom stromen van boven naar beneden om een spiraalvormige lijnbeweging te maken.
2. Permanente magneet plus elektromagnetische besturing van de kleine cirkelvormige kathodeboogbron
De elektromagnetische spoel versnelt de boogvlek zodat deze een draaiende beweging maakt in de omtrek van het doel. Hierdoor wordt de verblijftijd van de boogvlek op het doeloppervlak verkort, wordt het gebied van het gesmolten bad verkleind en wordt de organisatie van de filmlaag verfijnd.
3. Kathodische boogbron met dubbele elektromagnetische besturing
De kathodische boogbron is uitgerust met twee elektromagnetische spoelen, waardoor de rotatiesnelheid van de elektronenstroom wordt verbeterd en de organisatie van de filmlaag wordt verfijnd.
4.Magnetron Cyclotron PECVD
Buiten de DC PECVD-coatingkamer zijn twee elektromagnetische spoelen geïnstalleerd die de elektronen laten roteren. Hierdoor neemt de kans op een botsing tussen de elektronen en het gas toe en wordt de dissociatiesnelheid van de deeltjes in de filmlaag verbeterd.
5.ECR Magnetron PECVD
In de coatingkamer buiten de geïnstalleerde bovenste en onderste twee elektromagnetische spoelen, kan de dissociatiesnelheid worden verbeterd.
6. Booglichtontlading PECVD
In de coatingkamer van de boogontladings-PECVD-apparatuur rond de bovenste en onderste installatie van twee elektromagnetische spoelen, kan de afzetting van diamantfilm, het coaxiale elektromagnetische veld, de boogelektronenstroom worden gedraaid om de gasionisatie van koolwaterstoffen te stimuleren.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Plaatsingstijd: 24-10-2023