१. खोक्रो क्याथोड आयन कोटिंग मेसिन र तातो तार आर्क आयन कोटिंग मेसिन
कोटिंग चेम्बरको माथिल्लो भागमा खोक्रो क्याथोड गन र हट वायर आर्क गन जडान गरिएको छ, तल एनोड जडान गरिएको छ, र कोटिंग चेम्बरको परिधिको माथि र तल दुईवटा इलेक्ट्रोम्याग्नेटिक कोइल जडान गरिएको छ। सर्पिल रेखा आन्दोलन गर्न माथिबाट तलतिर आर्क लाइट इलेक्ट्रोन प्रवाह हुन्छ।
२. सानो गोलाकार क्याथोड चाप स्रोतको स्थायी चुम्बक र विद्युत चुम्बकीय नियन्त्रण
विद्युत चुम्बकीय कुण्डलीले लक्ष्यको परिधिमा घुम्ने गति बढाउन आर्क स्पटलाई गति दिन्छ, जसले लक्ष्य सतहमा आर्क स्पटको निवास समय घटाउँछ, पग्लिएको पोखरीको क्षेत्रफल घटाउँछ र फिल्म तह संगठनलाई परिष्कृत गर्छ।
३. दोहोरो विद्युत चुम्बकीय नियन्त्रण क्याथोडिक चाप स्रोत
क्याथोडिक आर्क स्रोत दुई विद्युत चुम्बकीय कुण्डलीहरूले सुसज्जित छ, जसले इलेक्ट्रोन प्रवाहको घूर्णन गति सुधार गर्दछ र फिल्म तह संगठनलाई परिष्कृत गर्दछ।
४. म्याग्नेट्रोन साइक्लोट्रोन PECVD
इलेक्ट्रोनहरूलाई घुमाउनको लागि DC PECVD कोटिंग चेम्बर बाहिर दुईवटा इलेक्ट्रोम्याग्नेटिक कोइलहरू जडान गरिएका छन्, जसले इलेक्ट्रोन र ग्यास बीचको टक्करको सम्भावना बढाउँछ, र फिल्म तहमा रहेका कणहरूको पृथक्करण दरमा सुधार गर्छ।
५.ECR माइक्रोवेभ PECVD
स्थापित बाहिर कोटिंग चेम्बरमा माथिल्लो र तल्लो दुई विद्युत चुम्बकीय कुण्डलीहरू सहित, पृथकीकरण दर सुधार गर्न सक्छ।
६.आर्क लाइट डिस्चार्ज PECVD
दुई विद्युत चुम्बकीय कुण्डलीहरूको माथिल्लो र तल्लो स्थापना वरिपरि आर्क डिस्चार्ज PECVD उपकरण कोटिंग चेम्बरमा, हीरा फिल्मको निक्षेपण, समाक्षीय विद्युत चुम्बकीय क्षेत्रलाई हाइड्रोकार्बनको ग्यास आयनीकरणलाई उत्तेजित गर्न आर्क इलेक्ट्रोन प्रवाह घुमाउन सकिन्छ।
- यो लेख प्रकाशित गरिएको होभ्याकुम कोटिंग मेसिन निर्मातागुआंग्डोंग Zhenhua
पोस्ट समय: अक्टोबर-२४-२०२३