1. Magna tal-kisi tal-jone katodu vojt u magna tal-kisi tal-jone ark tal-wajer sħun
Il-pistola katodika vojta minn ġewwa u l-pistola tal-ark tal-wajer sħun huma installati fil-parti ta' fuq tal-kompartiment tal-kisi, l-anodu huwa installat fil-qiegħ, u żewġ kolji elettromanjetiċi huma installati fil-parti ta' fuq u ta' isfel tal-periferija tal-kompartiment tal-kisi. L-elettroni tad-dawl tal-ark jiċċirkolaw minn fuq għal isfel biex jagħmlu moviment spirali.
2. Kalamita permanenti flimkien mal-kontroll elettromanjetiku tas-sors żgħir tal-ark katodu ċirkolari
Il-kolja elettromanjetika taċċelera l-post tal-ark biex jagħmel moviment rotatorju fiċ-ċirkonferenza tal-mira, li jnaqqas il-ħin ta' residenza tal-post tal-ark fuq il-wiċċ tal-mira, inaqqas l-erja tal-ġabra mdewba u jirfina l-organizzazzjoni tas-saff tal-film.
3. Sors ta' ark katodiku b'kontroll elettromanjetiku doppju
Is-sors tal-ark katodiku huwa mgħammar b'żewġ kolji elettromanjetiċi, li jtejbu l-veloċità rotazzjonali tal-fluss tal-elettroni u jirfinaw l-organizzazzjoni tas-saff tal-film.
4. Ċiklotron tal-Manjetron PECVD
Żewġ kolji elettromanjetiċi huma installati barra l-kamra tal-kisi DC PECVD biex l-elettroni jduru, u dan iżid il-probabbiltà ta' ħabta bejn l-elettroni u l-gass, u jtejjeb ir-rata ta' dissoċjazzjoni tal-partiċelli fis-saff tal-film.
5.ECR Microwave PECVD
Fil-kompartiment tal-kisi barra l-installati l-parti ta' fuq u ta' isfel b'żewġ kolji elettromanjetiċi, jistgħu jtejbu r-rata ta' dissoċjazzjoni.
6. Skariku tad-Dawl tal-Ark PECVD
Fil-kompartiment tal-kisi tat-tagħmir PECVD li jiskarika bl-ark madwar l-installazzjoni ta' fuq u t'isfel ta' żewġ kolji elettromanjetiċi, id-depożizzjoni ta' film tad-djamanti, il-kamp elettromanjetiku koassjali jista' jiġi mdawwar bil-fluss tal-elettroni tal-ark biex jistimula l-jonizzazzjoni tal-gass tal-idrokarburi.
–Dan l-artiklu ġie ppubblikat minnmanifattur tal-magna tal-kisi bil-vakwuGuangdong Zhenhua
Ħin tal-posta: 24 ta' Ottubru 2023