1. Mesin salutan ion katod berongga dan mesin salutan ion arka dawai panas
Pistol katod berongga dan pistol arka dawai panas dipasang di bahagian atas ruang salutan, anod dipasang di bahagian bawah, dan dua gegelung elektromagnet dipasang di bahagian atas dan bawah pinggir ruang salutan. Pengaliran elektron cahaya arka dari atas ke bawah untuk melakukan pergerakan garis lingkaran.
2. Magnet kekal ditambah kawalan elektromagnet sumber arka katod bulat kecil
Gegelung elektromagnet mempercepatkan titik arka untuk melakukan pergerakan berputar dalam lilitan sasaran, yang mengurangkan masa kediaman titik arka pada permukaan sasaran, mengurangkan kawasan kolam lebur dan menapis organisasi lapisan filem.
3. Sumber arka katodik kawalan elektromagnet dwi
Sumber arka katodik dilengkapi dengan dua gegelung elektromagnet, yang meningkatkan kelajuan putaran aliran elektron dan menapis organisasi lapisan filem.
4.Magnetron Cyclotron PECVD
Dua gegelung elektromagnet dipasang di luar ruang salutan DC PECVD untuk membuat elektron berputar, yang meningkatkan kebarangkalian perlanggaran antara elektron dan gas, dan meningkatkan kadar penceraian zarah dalam lapisan filem.
5.ECR Microwave PECVD
Dalam ruang salutan di luar dipasang atas dan bawah dengan dua gegelung elektromagnet, boleh meningkatkan kadar penceraian.
6.Arc Light Discharge PECVD
Dalam ruang salutan peralatan PECVD pelepasan arka di sekeliling pemasangan atas dan bawah dua gegelung elektromagnet, pemendapan filem berlian, medan elektromagnet sepaksi boleh diputarkan aliran elektron arka untuk merangsang pengionan gas hidrokarbon.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: 24-Okt-2023