१. पोकळ कॅथोड आयन कोटिंग मशीन आणि गरम वायर आर्क आयन कोटिंग मशीन
कोटिंग चेंबरच्या वरच्या बाजूला पोकळ कॅथोड गन आणि हॉट वायर आर्क गन बसवलेले असतात, तळाशी एनोड बसवलेले असते आणि कोटिंग चेंबरच्या परिघाच्या वरच्या आणि खालच्या बाजूला दोन इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक कॉइल बसवलेले असतात. सर्पिल रेषेची हालचाल करण्यासाठी वरपासून खालपर्यंत आर्क लाइट इलेक्ट्रॉनचा प्रवाह होतो.
२. लहान वर्तुळाकार कॅथोड चाप स्त्रोताचे कायमचे चुंबक अधिक विद्युत चुंबकीय नियंत्रण
इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक कॉइल लक्ष्याच्या परिघात फिरण्यासाठी आर्क स्पॉटला गती देते, ज्यामुळे लक्ष्य पृष्ठभागावर आर्क स्पॉटचा निवास वेळ कमी होतो, वितळलेल्या तलावाचे क्षेत्रफळ कमी होते आणि फिल्म लेयर ऑर्गनायझेशन सुधारते.
३. दुहेरी इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक नियंत्रण कॅथोडिक आर्क स्रोत
कॅथोडिक आर्क सोर्स दोन इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक कॉइल्सने सुसज्ज आहे, जे इलेक्ट्रॉन प्रवाहाच्या रोटेशनल स्पीडमध्ये सुधारणा करते आणि फिल्म लेयर ऑर्गनायझेशनमध्ये सुधारणा करते.
४.मॅग्नेट्रॉन सायक्लोट्रॉन पीईसीव्हीडी
इलेक्ट्रॉन फिरवण्यासाठी DC PECVD कोटिंग चेंबरच्या बाहेर दोन इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक कॉइल बसवले जातात, ज्यामुळे इलेक्ट्रॉन आणि वायू यांच्यात टक्कर होण्याची शक्यता वाढते आणि फिल्म लेयरमधील कणांचे पृथक्करण दर सुधारतो.
५.ईसीआर मायक्रोवेव्ह पीईसीव्हीडी
स्थापित केलेल्या बाहेरील कोटिंग चेंबरमध्ये वरच्या आणि खालच्या भागात दोन इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक कॉइल्स असल्याने, पृथक्करण दर सुधारू शकतो.
६.आर्क लाईट डिस्चार्ज PECVD
दोन इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक कॉइल्सच्या वरच्या आणि खालच्या स्थापनेभोवती कंस डिस्चार्ज PECVD उपकरण कोटिंग चेंबरमध्ये, डायमंड फिल्मचे पदच्युती, कोएक्सियल इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक फील्ड हायड्रोकार्बन्सच्या वायू आयनीकरणाला उत्तेजन देण्यासाठी कंस इलेक्ट्रॉन प्रवाह फिरवता येतो.
- हा लेख प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माताग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट वेळ: ऑक्टोबर-२४-२०२३