1. Хөндий катодын ион бүрэх машин, халуун утсан нуман ион бүрэх машин
Хөндий катодын буу, халуун утсан нуман бууг бүрэх камерын дээд хэсэгт, анодыг доод хэсэгт, бүрэх камерын захын дээд ба доод хэсэгт хоёр цахилгаан соронзон ороомог суурилуулсан. Нуман гэрлийн электрон нь спираль шугамын хөдөлгөөнийг хийхийн тулд дээрээс доошоо урсдаг.
2. Байнгын соронз ба жижиг дугуй катод нумын эх үүсвэрийн цахилгаан соронзон удирдлага
Цахилгаан соронзон ороомог нь зорилтот гадаргуу дээр нумын цэгийн оршин суух хугацааг багасгаж, хайлсан усан сангийн талбайг багасгаж, хальсны давхаргын зохион байгуулалтыг сайжруулж, зорилтот хэсгийн тойрогт эргэлт хийх нуман цэгийг хурдасгадаг.
3.Хос цахилгаан соронзон хяналтын катод нуман эх үүсвэр
Катодын нумын эх үүсвэр нь хоёр цахилгаан соронзон ороомогоор тоноглогдсон бөгөөд энэ нь электрон урсгалын эргэлтийн хурдыг сайжруулж, кино давхаргын зохион байгуулалтыг сайжруулдаг.
4. Magnetron Cyclotron PECVD
Тогтмол гүйдлийн PECVD бүрэх камерын гадна хоёр цахилгаан соронзон ороомог суурилуулсан нь электронуудыг эргүүлэх бөгөөд энэ нь электрон ба хийн хооронд мөргөлдөх магадлалыг нэмэгдүүлж, хальсан давхарга дахь хэсгүүдийн диссоциацийн хурдыг сайжруулдаг.
5.ECR богино долгионы PECVD
Гадна бүрэх камерт дээд ба доод хоёр цахилгаан соронзон ороомог суурилуулсан нь диссоциацийн хурдыг сайжруулдаг.
6.Arc Light Discharge PECVD
Нуман гадагшлуулах PECVD тоног төхөөрөмжийн бүрэх камерт хоёр цахилгаан соронзон ороомог суурилуулж, алмаазан хальсыг буулгаж, коаксиаль цахилгаан соронзон орон нь нүүрсустөрөгчийн хийн иончлолыг идэвхжүүлэхийн тулд нуман электрон урсгалыг эргүүлж болно.
-Энэ нийтлэлийг гаргасанвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2023-10-24