കോക്സിയൽ ഇലക്ട്രോമാഗ്നറ്റിക് ഫീൽഡ് തരം അയോൺ കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ

1. പൊള്ളയായ കാഥോഡ് അയോൺ കോട്ടിംഗ് മെഷീനും ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗ് മെഷീനും

കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിന്റെ മുകളിൽ പൊള്ളയായ കാഥോഡ് ഗണ്ണും ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് ഗണ്ണും സ്ഥാപിച്ചിരിക്കുന്നു, ആനോഡ് താഴെയായി സ്ഥാപിച്ചിരിക്കുന്നു, കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിന്റെ ചുറ്റളവിന്റെ മുകളിലും താഴെയുമായി രണ്ട് ഇലക്ട്രോമാഗ്നറ്റിക് കോയിലുകൾ സ്ഥാപിച്ചിരിക്കുന്നു. സർപ്പിള രേഖ ചലനം നടത്താൻ ആർക്ക് ലൈറ്റ് ഇലക്ട്രോൺ മുകളിൽ നിന്ന് താഴേക്ക് ഒഴുകുന്നു.

2. ചെറിയ വൃത്താകൃതിയിലുള്ള കാഥോഡ് ആർക്ക് ഉറവിടത്തിന്റെ സ്ഥിരമായ കാന്തവും വൈദ്യുതകാന്തിക നിയന്ത്രണവും

ലക്ഷ്യത്തിന്റെ ചുറ്റളവിൽ ഭ്രമണ ചലനം നടത്തുന്നതിനായി വൈദ്യുതകാന്തിക കോയിൽ ആർക്ക് സ്പോട്ടിനെ ത്വരിതപ്പെടുത്തുന്നു, ഇത് ലക്ഷ്യ പ്രതലത്തിലെ ആർക്ക് സ്പോട്ടിന്റെ താമസ സമയം കുറയ്ക്കുകയും ഉരുകിയ പൂളിന്റെ വിസ്തീർണ്ണം കുറയ്ക്കുകയും ഫിലിം ലെയർ ഓർഗനൈസേഷനെ പരിഷ്കരിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

3. ഡ്യുവൽ ഇലക്ട്രോമാഗ്നറ്റിക് കൺട്രോൾ കാഥോഡിക് ആർക്ക് സോഴ്സ്

കാഥോഡിക് ആർക്ക് സ്രോതസ്സിൽ രണ്ട് വൈദ്യുതകാന്തിക കോയിലുകൾ സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്നു, ഇത് ഇലക്ട്രോൺ പ്രവാഹത്തിന്റെ ഭ്രമണ വേഗത മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും ഫിലിം ലെയർ ഓർഗനൈസേഷൻ പരിഷ്കരിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

4. മാഗ്നെട്രോൺ സൈക്ലോട്രോൺ PECVD

ഇലക്ട്രോണുകളെ ഭ്രമണം ചെയ്യുന്നതിനായി DC PECVD കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിന് പുറത്ത് രണ്ട് ഇലക്ട്രോമാഗ്നറ്റിക് കോയിലുകൾ സ്ഥാപിച്ചിട്ടുണ്ട്, ഇത് ഇലക്ട്രോണുകളും വാതകവും തമ്മിലുള്ള കൂട്ടിയിടിയുടെ സാധ്യത വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ഫിലിം പാളിയിലെ കണങ്ങളുടെ വിഘടന നിരക്ക് മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു.

5.ഇസിആർ മൈക്രോവേവ് പിഇസിവിഡി

കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിന് പുറത്തുള്ള ഭാഗത്ത് മുകളിലും താഴെയുമായി രണ്ട് വൈദ്യുതകാന്തിക കോയിലുകൾ സ്ഥാപിച്ചാൽ വിഘടന നിരക്ക് മെച്ചപ്പെടുത്താൻ കഴിയും.

6.ആർക്ക് ലൈറ്റ് ഡിസ്ചാർജ് PECVD

രണ്ട് വൈദ്യുതകാന്തിക കോയിലുകളുടെ മുകളിലും താഴെയുമുള്ള ഇൻസ്റ്റാളേഷനു ചുറ്റുമുള്ള ആർക്ക് ഡിസ്ചാർജ് PECVD ഉപകരണ കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിൽ, ഡയമണ്ട് ഫിലിം നിക്ഷേപിക്കുന്നു, കോക്സിയൽ വൈദ്യുതകാന്തിക മണ്ഡലത്തിൽ ആർക്ക് ഇലക്ട്രോൺ പ്രവാഹം തിരിക്കാൻ കഴിയും, ഇത് ഹൈഡ്രോകാർബണുകളുടെ വാതക അയോണൈസേഷനെ ഉത്തേജിപ്പിക്കുന്നു.

–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്‌ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ