Процесот на обложување со шупливи катодни јони е како што следува:
1, Ставете ги шипките за брадата во колапсот.
2, Монтирање на работното парче.
3, По евакуирањето до 5 × 10-3Pa, аргонскиот гас се внесува во комората за обложување од сребрената цевка, а нивото на вакуум е околу 100Pa.
4, Вклучете го напојувањето со пристрасност.
5, По вклучувањето на лачното напојување за да се запали шупливото катодно празнење. Светлечкото празнење се генерира во копчето-цевката, напонот на празнење е 800~1000V, струјата на зголемување на лакот е 30~50A. Поради ефектот на шупливата катода на сјајното празнење, висока густина на струјата на сјајното празнење, високата густина на стаорци во сребрената цевка го бомбардира ѕидот на напредната цевка, предизвикува ѕидот на цевката брзо да се загрее до емисија на проток на електрони, режимот на празнење од сјајното празнење ненадејно се менува во лачно празнење, напонот е 40~70V, струјата е 80~300A. Температурата на сребрената цевка достигнува над 2300K, вжарено, емитува поток од лачни електрони со висока густина од цевката и се испраќа кон анодата.
6. Прилагодување на нивото на вакуум. Нивото на вакуум за сјајно празнење од шуплив катоден пиштол е околу 100 Pa, а степенот на вакуум на обложување е 8×10-1~2Pa. Затоа, по палењето на лачното празнење, намалете го влезниот аргонски гас што е можно поскоро. Прилагодете го нивото на вакуум на опсег погоден за обложување.
7, Основен слој обложен со титаниум. Електронски тек врз анодично склопениот метален ингот Chin, конверзија на кинетичката енергија во топлинска енергија, испарување на металниот Chin со загревање, атомите на пареа стигнуваат до работното парче за да формираат титаниумски филм.
8, Таложење на TiN. Азотниот гас се внесува во комората за обложување, азотниот гас и испарените атоми се јонизираат во азотни и титаниумски јони. Над садот за готвење, поголема е веројатноста за нееластични судири на атомите на титаниумска пареа со густи потоци од електрони со ниска енергија, стапката на дисоцијација на металот е висока до 20%~40%. Титаниумските јони имаат поголема веројатност хемиски да реагираат со азот од реакцискиот гас, таложење за да се добие слој од нитридна мантија. Шупливиот катоден пиштол е и извор на испарување, друг извор на јонизација. За време на обложувањето, струјата на електромагнетната намотка околу садот за готвење исто така треба да се прилагоди, фокусирајте го електронскиот зрак кон центарот на колапсот, со што се зголемува густината на моќноста на протокот на електрони.
9, Исклучете го напојувањето. Откако дебелината на филмот ќе ја достигне претходно одредената дебелина на филмот, исклучете го напојувањето со лачен лак, напојувањето со пристрасно напојување и снабдувањето со воздух.
Време на објавување: 08 јули 2023